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本发明公开了一种光学元件表面测量装置及方法，装置包括光源模块、运动台、激光能量监测模块、光电探测模块、空间三角焦点定位模块、投影模块、双目视觉模块和处理模块。本发明的技术方案，通过激光能量监测模块实时记录激光脉冲能量，光电探测模块精准测量聚...
该专利属于苏州领锐源奕光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州领锐源奕光电科技有限公司授权不得商用。

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