一种微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法技术

本发明专利技术公开了一种微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，包括：得到微半球谐振子内表面的薄膜厚度分布数据；计算微半球谐振子各区域变形能，令微半球谐振子上变形能与整体占比小于第一阈值的区域为区域A，其它为区域B；基于电阻率与薄膜厚度的关系曲线，得到电阻率的拐点对应的薄膜厚度r；令区域A、区域B的薄膜厚度为r<subgt;A</subgt;=a·r、r<subgt;B</subgt;=b·r，a、b为平面区域与区域A、区域B薄膜厚度比的最大值；基于r<subgt;A</subgt;、r<subgt;B</subgt;在微半球谐振子内表面镀膜后进行性能检测，并迭代r<subgt;B</subgt;直至通过性能检测。本发明专利技术应用于微机电技术领域，能够在保证金属薄膜电导率的前提下，减小微半球谐振子变形能占比更大的区域的薄膜厚度，进而达到提升性能的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电，具体是一种微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法。

技术介绍

1、陀螺仪，作为精准测量角度变化与角速度的关键传感器，构成了姿态感知、惯性导航系统等高科技领域的核心基石。其在航空航天技术的飞跃以及高端装备制造领域的精密控制中，均扮演着不可或缺的角色。谐振陀螺，作为新一代陀螺仪的代表之一，巧妙地利用谐振结构的固有物理特性——哥氏效应，实现了对角速度变化的高灵敏度、高精度检测。微半球谐振陀螺是目前谐振式陀螺的研究热点之一，其显著特点在于集成了简便的加工流程、紧凑的几何尺寸以及轻量化设计，成为了该领域研究的重要突破。它的核心优势体现在，不仅完整地继承了传统半球谐振陀螺在角速度测量与姿态感知方面的高性能潜力，还通过创新性的微吹玻璃法，有效规避了传统加工过程中复杂且耗时的谐振子制备工序。

2、在微半球谐振陀螺仪的精密制造流程中，于微半球谐振子表面均匀沉积金属薄膜是一项重要的步骤。鉴于微吹玻璃工艺所塑造的复杂微壳结构，主要特征是锚点的内凹，传统磁控溅射薄膜技术难以实现薄膜在微半球表面各区域的厚度一致性。为确保微半球谐振陀螺达到其高效运行本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，其特征在于，步骤1具体为：

3.根据权利要求1所述的微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，其特征在于，步骤3中，所述计算微半球谐振子各区域变形能的大小具体为：

4.根据权利要求1或2或3所述的微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，其特征在于，步骤5中，所述性能检测为微半球谐振陀螺仪电路噪声测试。

5.根据权利要求4所述的微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，其特征在于，所述对rB进行迭代直至通过性...

【技术特征摘要】

1.一种微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，其特征在于，步骤1具体为：

3.根据权利要求1所述的微半球谐振陀螺超薄导电层设计与制备方法，其特征在于，步骤3中，所述计算微半球谐振子各区域变形能的大小具体为：

4.根据权利要求1或2或3所述的微半球谐振...

【专利技术属性】
技术研发人员：石岩，席翔，朱峰，肖定邦，吴学忠，刘佳，廖琛，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科技大学，
类型：发明
国别省市：