【技术实现步骤摘要】
本技术涉及石墨坩埚,更具体而言,涉及一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置。
技术介绍
1、石墨化后出炉的石墨坩埚有500-700摄氏度的高温。现在最常用的方法是加热后放置在空气中自然冷却到室温后再进行后续操作。空冷过程往往需要较长的时间,严重影响工期,生产效率低下;
2、同时,由于放置过程中的种种原因,坩埚中的产品易接触到空气发生氧化,造成废品率上升。此外,高温的坩埚放置在车间中需要人集中看管,既增加了人力物力,又易造成安全隐患。
技术实现思路
1、为克服上述现有技术中存在的不足,本技术提供了一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置。该装置能够保护产品使其不易发生氧化反应,降低废品率,且成本及其便宜,提高生产效益;大大提高企业生产效率。
2、为解决上述技术问题,本技术采取的技术方案为:
3、一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,包括车间、冷却室和制氮室,所述制氮室连接有进气管,所述制氮室与所述冷却室通过管路连接,所述车间两侧设置有通风管道,所述通风管道与所述车间连通,所述冷却室通过送气管道与两侧通风管道连通,所述车间顶部设置有排气系统。
4、所述车间前、后两侧均设置有坩埚通过口。
5、所述车间的两侧设置有通气孔,所述通风管道通过通气孔与所述车间内部连通。
6、所述排气系统包括出气主管和气泵,所述气泵设置有多组,多组气泵在所述车间顶部设置,气泵底部与车间内部连通,气泵顶部连接有出气支管,
7、所述出气主管一端封闭,另一端连接有废气收集箱。
8、所述废气收集箱顶部设置有观察孔。
9、所述废气收集箱通过管路连接有除杂装置。
10、所述除杂装置通过管路与制氮室连接。
11、所述车间内设置有导轨,所述导轨两端分别与两侧坩埚通过口连接,所述导轨在车间内呈s形设置,所述导轨上安装有电动滚轴。
12、与现有技术相比吧,本技术所具有的有益效果为:
13、呈s形设置的低温导轨整体排列较近,减少占地面积且增加导轨长度,增加了车间内部的冷却时间,确保了坩埚及坩埚内产品的充分冷却,保证了操作人员的人身安全。通过制氮室和冷却室,能够快速地将空气中的氮气提取,转化到适合的温度后,通入车间,用作降温气体使用,安全高效;通过气泵、出气支管和出气主管,将车间内的气体排出,及时清除受热膨胀在车间顶部的废气;观察孔能够用来排废气,也可以将其封堵,仅用来观察废气状况;除杂装置可将排出的废气进行处理后排放,也可以在输送至制氮室,循环使用气体;本装置能利用空气中的氮气,对车间内的石墨坩埚进行高效冷却处理,对处理后的废气进行妥善处理,避免了坩埚发生氧化,降低了坩埚废品率。
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1.一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:包括车间(9)、冷却室(11)和制氮室(12),所述制氮室(12)连接有进气管(13),所述制氮室(12)与所述冷却室(11)通过管路连接,所述车间(9)两侧设置有通风管道(8),所述通风管道(8)与所述车间(9)连通,所述冷却室(11)通过送气管道(10)与两侧通风管道(8)连通,所述车间(9)顶部设置有排气系统。
2.根据权利要求1所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述车间(9)前、后两侧均设置有坩埚通过口(2)。
3.根据权利要求1所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述车间(9)的两侧设置有通气孔(14),所述通风管道(8)通过通气孔(14)与所述车间(9)内部连通。
4.根据权利要求1所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述排气系统包括出气主管(5)和气泵(7),所述气泵(7)设置有多组,多组气泵(7)在所述车间(9)顶部设置,气泵(7)底部与车间(9)内部连通,气泵(7)顶部连接
5.根据权利要求4所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述出气主管(5)一端封闭,另一端连接有废气收集箱(3)。
6.根据权利要求5所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述废气收集箱(3)顶部设置有观察孔(4)。
7.根据权利要求5所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述废气收集箱(3)通过管路连接有除杂装置(1)。
8.根据权利要求7所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述除杂装置(1)通过管路与制氮室(12)连接。
9.根据权利要求1所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述车间内设置有导轨(15),所述导轨(15)两端分别与两侧坩埚通过口(2)连接,所述导轨(15)在车间(9)内呈S形设置,所述导轨(15)上安装有电动滚轴(16)。
...【技术特征摘要】
1.一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:包括车间(9)、冷却室(11)和制氮室(12),所述制氮室(12)连接有进气管(13),所述制氮室(12)与所述冷却室(11)通过管路连接,所述车间(9)两侧设置有通风管道(8),所述通风管道(8)与所述车间(9)连通,所述冷却室(11)通过送气管道(10)与两侧通风管道(8)连通,所述车间(9)顶部设置有排气系统。
2.根据权利要求1所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述车间(9)前、后两侧均设置有坩埚通过口(2)。
3.根据权利要求1所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述车间(9)的两侧设置有通气孔(14),所述通风管道(8)通过通气孔(14)与所述车间(9)内部连通。
4.根据权利要求1所述的一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置,其特征在于:所述排气系统包括出气主管(5)和气泵(7),所述气泵(7)设置有多组,多组气泵(7)在所述车间(9)顶部设置,气泵(7)底部与...
【专利技术属性】
技术研发人员:耿林华,耿廷,李光华,刘文增,
申请(专利权)人:山西贝特瑞新能源科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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