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本技术涉及石墨坩埚技术领域,更具体而言,涉及一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置。包括车间、冷却室和制氮室,制氮室连接有进气管,制氮室与冷却室通过管路连接,车间两侧设置有通风管道,通风管道与车间连通,冷却室通过送气管道与两侧通风管...该专利属于山西贝特瑞新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西贝特瑞新能源科技有限公司授权不得商用。
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