下载一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置的技术资料

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本技术涉及石墨坩埚技术领域,更具体而言,涉及一种用于石墨化后石墨坩埚的迅速冷却及防氧化装置。包括车间、冷却室和制氮室,制氮室连接有进气管,制氮室与冷却室通过管路连接,车间两侧设置有通风管道,通风管道与车间连通,冷却室通过送气管道与两侧通风管...
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