锗基底2-13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法技术

提供一种锗基底2‑13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法。锗基底2‑13μm中远红外增透薄膜的设计方法包括：选定6.5μm作为光学薄膜设计1/4波长膜厚的参考波长，使用膜堆公式：Sub/0.04L/0.3H/0.1L/0.3H/0.2L/0.2H/0.3L/0.1H/0.5L/0.03M/0.2L/0.2M/0.15L/0.6M/0.02Q/AIR，Sub为锗基底，AIR代表空气，H代表1/4波长膜厚的Ge，L代表1/4波长膜厚的ZnS，M代表1/4波长膜厚的YF<subgt;3</subgt;，Q代表1/4波长膜厚的Y<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;；软件对膜厚优化，得最佳的膜厚，优化后的锗基底2‑13μm波段的透过率符合要求；将优化后的膜厚输入镀膜机的控制电脑。锗基底2‑13μm中远红外增透薄膜的制备方法包括：S1，镀前清洁及膜料准备；S2，膜系工艺参数配置；S3，抽真空烘烤及膜料预熔恒温；S4，离子源清洗；S5，膜层镀制及监控；S6，镀后恒温保持；S7，降温取件；S8，重复步骤S1至步骤S7，第二面镀制。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及红外镀膜，更具体地涉及一种锗基底2-13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法。

技术介绍

1、在红外测温仪器和热成像仪里面需要用到中远红外的滤光镜片，红外测温仪和热成像仪一般工作波段在2-13μm范围，而锗刚好在中远红外具有很好的透光性，且在可见光波段是不透的，由于锗本身的很高，折射率略大于4(无量纲)，反射率可达36％，材料本身也存在一定对光的吸收，导致在特定波段的透光率不足，透光率不到47％，极大的限制了其在一些高精度光学系统中的应用，尤其在2-13μm中远红外超宽波段上的应用。

2、如何在锗基底上镀制一种可靠的光学薄膜来提升2-13μm波段的透光率、如何设计膜系与膜层制备成为光学薄膜领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种锗基底2-13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法，其能够使得设计和制备得到的锗基底2-13μm中远红外波段的透过率符合要求。

2、本公开的另一目的在于提供一种锗基底2-13μm中远红本文档来自技高网...

【技术保护点】

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【技术特征摘要】

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【专利技术属性】
技术研发人员：蔡宇轩，刘克武，王振，李满仕，尹士平，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：