硒化锌基底1064nm波长高反7.7-10.5μm波段增透膜系的制备方法技术

一种硒化锌基底1064nm波长高反7.7‑10.5μm波段增透膜系的制备方法包括步骤：S1，镀前作为镜片的硒化锌基底的陪镀片和产品清洁及膜料准备；S2，镜片放入工装夹具，工装夹具挂入镀膜机的腔体内，抽真空烘烤以及膜料预熔；S3，离子源清洗；S4，在真空条件下对镜片的第一面镀制第一层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第二层ZnSe膜层、第三层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第四层ZnSe膜层、第五层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第六层ZnSe膜层、第七层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第八层ZnSe膜层、第九层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第十层ZnSe膜层、第十一层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第十二层ZnSe膜层、第十三层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第十四层ZnSe膜层、第十五层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第十六层ZnSe膜层、第十七层YbF<subgt;3</subgt;膜层、第十八层ZnSe膜层，均离子源辅助沉积；S5，镀后恒温保持；S6，冷却取件；S7，重复步骤S1至步骤S6，对第二面镀制。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及红外镀膜，更具体地涉及一种硒化锌基底1064nm波长高反7.7-10.5μm波段增透膜系的制备方法。

技术介绍

1、在现代光学和红外
，对高性能光学薄膜的需求日益增长的商用中，如何在特定波长下实现高反射同时在宽波段范围内保持高透过率，一直是研究的热点和难点。硒化锌作为一种优良的红外透过材料，其在特定波长的反射性能提升对于红外光学系统的设计具有重要意义。

技术实现思路

1、鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种硒化锌基底1064nm波长高反7.7-10.5μm波段增透膜系的制备方法，其能够用于实现在1064nm波长的高反射率和在7.7-10.5μm波段的高透过率。

2、本公开的一目的在于提供一种硒化锌基底1064nm波长高反7.7-10.5μm波段增透膜系的制备方法，其能够符合gjb2485a-2019验收。

3、由此，一种硒化锌基底1064nm波长高反7.7-10.5μm波段增透膜系的制备方法包括步骤：s1，镀前针对作为镜片的硒化锌基底的陪镀片和产品进行清本文档来自技高网...

【技术保护点】

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【技术特征摘要】

1.一种硒化锌基底1064nm波长高反7.7-10.5μm波段增透膜系的制备方法，其特征在于，包括步骤：

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3.根据权利要求1所述的硒化锌基底1064nm波长高反7.7-10.5μm波段增透膜系的制备方法，其特征在于，

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【专利技术属性】
技术研发人员：王振，刘克武，蔡宇轩，梁献波，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：

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