弹性波装置制造方法及图纸

技术编号:43932125 阅读:20 留言:0更新日期:2025-01-07 21:26
本申请关于一种弹性波装置,涉及射频领域。本申请通过在高声速构件上设置钪掺杂的氮化铝层,在钪掺杂的氮化铝层上设置压电层,在压电层上设置叉指换能器电极和反射器电极,反射器电极位于叉指换能器电极的两侧,其中,钪掺杂的氮化铝层的掺钪比例为15%‑40%。在此情况下,能够解决现有技术中基于钽酸锂/铌酸锂压电薄膜的复合多层结构的弹性波装置的主模附近的杂波响应、恶化滤波器的带内波动、引起双工器或射频模块之间的模式串扰的问题,可以提高通信装置的整体性能。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及射频,特别涉及一种弹性波装置


技术介绍

1、弹性波器件具有成本低、体积小和功能多等特点,在雷达、通信、导航等领域获得了广泛的应用。手机和基站通信中最常用的弹性波器件有弹性波谐振器、由多个弹性波谐振器组合而成的弹性波滤波器以及由多个弹性波滤波器组合而成的弹性波双工器和弹性波多工器。在任何类型的弹性波器件中,都在压电多层衬底上设置导电材料薄膜图形,以确定若干个叉指换能器电极和反射器电极,并且都利用叉指换能器电极的电信号转换成弹性波的转换功能的频率特性来获得带通特性。

2、移动通信系统正在从3g、4g向5g发展,使用频带则向3ghz以上的频带移动。传统的声表面波装置受制于材料本身的限制,q值和耦合系数较低,不能充分满足移动通讯对器件高性能的要求。基于钽酸锂/铌酸锂压电薄膜的复合多层结构的声表面波装置集低插损、低温漂、大带宽、大功率等优点而备受关注。

3、然而,基于压电薄膜的复合多层结构也会引起诸多寄生杂波问题,例如主模附近的杂波响应,这将恶化滤波器的带内波动,也会引起双工器或射频模块之间的模式串扰,极大地影响通信装置的性能。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于,所述高声速构件包括:

4.根据权利要求3所述的弹性波装置,其特征在于:

5.根据权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于:

6.根据权利要求5所述的弹性波装置,其特征在于:

7.根据权利要求5所述的弹性波装置,其特征在于,所述低声速层由二氧化硅、玻璃、氮氧化硅、氧化钽,或者在二氧化硅中添加了以氟、碳、或硼的化合物为主成分的材料中的相对低声速材料的一种或多种组合构成

8....

【技术特征摘要】

1.一种弹性波装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于:

3.根据权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于,所述高声速构件包括:

4.根据权利要求3所述的弹性波装置,其特征在于:

5.根据权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于:

6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:俞振一傅肃磊张莉王绍安刘平
申请(专利权)人:无锡市好达电子股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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