护盘压板和单晶炉制造技术

本技术涉及单晶硅的制造领域，公开了一种护盘压板和单晶炉。公开的护盘压板，包括板体，板体的一面上设置有多个锥面凹坑。公开的单晶炉，包括设置在炉底的护盘压板，护盘压板设置有锥面凹坑的一面朝向炉内。本技术提供的护盘压板，在其一面设置锥面凹坑，在发生漏硅事故后锥面凹坑可盛住大量硅液，防止硅液流入炉底造成事故扩大；此外，锥面凹坑的设置加大了整个反射的表面积，使得炉底的保温性极大的加强，整体炉内热平衡稳定性提高，减少热量的流失；保温性的加强使得加热器输出热量降低，从而能减少氧的产生，达到降耗降氧的效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶硅的制造领域，具体而言，涉及一种护盘压板和单晶炉。

技术介绍

1、单晶炉拉制单晶可分为炉体装置、加热装置、保温装置、冷却装置及提升装置；其中原生硅料盛放在坩埚中通过加热装置将固体融化为液体，在运行过程中如果石英坩埚发生破裂就会导致硅液漏出流入下部造成整个下轴瘫痪无法运作，在炉底下部有护盘压板，既可以盛住漏下去的硅液又可以反射部分热量保证底部热量的稳定，不会造成热量流失过多。

2、但，现有护盘压板表面为平整面，发生漏硅事故硅液无法盛住，向两侧流出至炉底造成事故扩大；紧靠平面方式，热量反射量较小。

3、鉴于此，特提出本申请。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种护盘压板和单晶炉，旨在改善
技术介绍
提到的至少一种问题。

2、本技术的实施例是这样实现的：

3、第一方面，本技术提供一种护盘压板，包括板体，板体的一面上设置有多个锥面凹坑。

4、在可选的实施方式中，锥面凹坑的深度为4～6mm。

5、在可选的实施方式中，锥面凹坑的开口直本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种护盘压板，其特征在于，包括板体，所述板体的一面上设置有多个锥面凹坑。

2.根据权利要求1所述的护盘压板，其特征在于，所述锥面凹坑的深度为4～6mm。

3.根据权利要求1所述的护盘压板，其特征在于，所述锥面凹坑的开口直径大小为3～5mm。

4.根据权利要求1所述的护盘压板，其特征在于，所述锥面凹坑均匀布满所述板体的一面。

5.根据权利要求4所述的护盘压板，其特征在于，相邻的所述锥面凹坑之间的距离为0～2mm。

6.根据权利要求1所述的护盘压板，其特征在于，所述板体上还设置有多个装配孔。

7.根据权利要求1～6任...

【技术特征摘要】

1.一种护盘压板，其特征在于，包括板体，所述板体的一面上设置有多个锥面凹坑。

2.根据权利要求1所述的护盘压板，其特征在于，所述锥面凹坑的深度为4～6mm。

3.根据权利要求1所述的护盘压板，其特征在于，所述锥面凹坑的开口直径大小为3～5mm。

4.根据权利要求1所述的护盘压板，其特征在于，所述锥面凹坑均匀布满所述板体的一面。

5.根据权利要求4所...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯银勇，
申请(专利权)人：宇泽新能源文山有限公司，
类型：新型
国别省市：