下载护盘压板和单晶炉的技术资料

文档序号:43928090

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本技术涉及单晶硅的制造领域,公开了一种护盘压板和单晶炉。公开的护盘压板,包括板体,板体的一面上设置有多个锥面凹坑。公开的单晶炉,包括设置在炉底的护盘压板,护盘压板设置有锥面凹坑的一面朝向炉内。本技术提供的护盘压板,在其一面设置锥面凹坑,在发...
该专利属于宇泽新能源(文山)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宇泽新能源(文山)有限公司授权不得商用。

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