【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及芯片检测装置，尤其是涉及一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法。
技术介绍
1、伴随智能化的快速发展，芯片的需求量越来越大，芯片检测技术的作用越来越举足轻重。芯片在现代社会中广泛应用于通信、计算机、消费电子等领域，对芯片进行瞬时高、低温转化测试检测的需求迫在眉睫。传统的测试用探针装置进行单一的高温或低温检测具有低效率、成本高等问题，对推进测量芯片性能的发展造成了巨大阻碍。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是：为了解决传统的测试用探针装置进行单一的高温或低温检测具有低效率、成本高的问题，现提供了一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置，包括底座及可拆卸安装在底座上的盖板，所述底座和盖板之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体，所述盖板上设置有用于检测芯片的探针，还包括压缩机、第一储气瓶、第二储气瓶和至少一个涡流管制冷器，所述压缩机的输出端与涡流管制...
【技术保护点】
1.一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置，包括底座(1)及可拆卸安装在底座(1)上的盖板(2)，所述底座(1)和盖板(2)之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体(3)，所述盖板(2)上设置有用于检测芯片的探针(4)，其特征在于：还包括压缩机(5)、第一储气瓶(6)、第二储气瓶(7)和至少一个涡流管制冷器(8)，所述压缩机(5)的输出端与涡流管制冷器(8)的涡旋室连通，所述涡流管制冷器(8)的冷端与第一储气瓶(6)连通，所述涡流管制冷器(8)的热端与第二储气瓶(7)连通，所述第一储气瓶(6)的输出端和第二储气瓶(7)的输出端均与空腔体(3)连通，所述第一储气瓶(6)的输...
【技术特征摘要】
1.一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置，包括底座(1)及可拆卸安装在底座(1)上的盖板(2)，所述底座(1)和盖板(2)之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体(3)，所述盖板(2)上设置有用于检测芯片的探针(4)，其特征在于：还包括压缩机(5)、第一储气瓶(6)、第二储气瓶(7)和至少一个涡流管制冷器(8)，所述压缩机(5)的输出端与涡流管制冷器(8)的涡旋室连通，所述涡流管制冷器(8)的冷端与第一储气瓶(6)连通，所述涡流管制冷器(8)的热端与第二储气瓶(7)连通，所述第一储气瓶(6)的输出端和第二储气瓶(7)的输出端均与空腔体(3)连通，所述第一储气瓶(6)的输出端上设置有第一阀门(9)，所述第二储气瓶(7)的输出端上设置有第二阀门(10)。
2.根据权利要求1所述的一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置，其特征在于：所述涡流管制冷器(8)的冷端与第一储气瓶(6)之间设置有第三阀门(11)。
3.根据权利要求1所述的一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置其特征在于：所述涡流管制冷器(8)的热端与第二储气瓶(7)之间设置有第四阀门(12)。
4.根据权利要求1所述的一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置，其特征在于：所述底座(1)和盖板(2)之间设置有第一储气室(22)和第二储气室(23)，所述第一储气室(22)分别与第一储气瓶(6)的输入端和空腔体(3)连通，所述第一储气室(22)上设置有用于切断或者连通空腔体(3)或第一储气瓶(6)的第五阀门(13)，所述第一储气室(22)上设置有用于向外部排气...
【专利技术属性】
技术研发人员：华晓倩，田鑫，
申请(专利权)人：常州鹏晟智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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