下载一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法的技术资料

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本发明涉及芯片检测装置技术领域,尤其是涉及一种瞬时高、低温转化测试芯片用探针装置及其测试方法,包括底座及可拆卸安装在底座上的盖板,所述底座和盖板之间设置有用于放置待检测芯片的空腔体,所述盖板上设置有用于检测芯片的探针,还包括压缩机、第一储气...
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