【技术实现步骤摘要】
本技术一般涉及单晶硅生产领域,尤其涉及单晶硅掺杂吊装工具。
技术介绍
1、硅的半导体属性,特别是其能带结构,使得它能够通过掺杂不同的杂质来调控其电导性,这一点对现代电子器件至关重要。由于硅的化学稳定性和丰富的硅基材料,硅棒在半导体产业中成为了首选材料。硅棒的出色性能不仅在于它作为半导体材料的电子特性,还包括其高热导性、机械稳定性以及可与许多不同的元素进行化学反应的能力。
2、在硅单晶生长过程中,可加入特定的掺杂剂,如磷或硼来调节硅棒的电导性。掺杂的过程需精确控制,以确保硅棒的导电特性符合电子器件的要求。
3、在进行单晶硅的生长过程中时一般通过钼线将掺杂杯连接在重锤上,随后进行升降进行生长过程,但是该钼线连接的稳定性不确定,容易出现意外,并影响产品品质;另外通过钼线进行连接的操作较为复杂,不易实施。
技术实现思路
1、鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种单晶硅掺杂吊装工具。
2、第一方面,提供一种单晶硅掺杂吊装工具,包括:
3、安装件,
...【技术保护点】
1.一种单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,所述开口部的直径从所述安装件端部向另一端逐渐减小。
3.根据权利要求2所述的单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,所述开口部的侧壁倾斜设置,且所述开口部的开口角度为60°±10°。
4.根据权利要求1所述的单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,所述第一凹槽在所述开孔部的直径大于在所述螺纹部的直径。
5.根据权利要求4所述的单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,所述安装件上设有贯穿所述安装件侧壁的通孔,所述通孔位于所述开孔部位置。
...【技术特征摘要】
1.一种单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,所述开口部的直径从所述安装件端部向另一端逐渐减小。
3.根据权利要求2所述的单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,所述开口部的侧壁倾斜设置,且所述开口部的开口角度为60°±10°。
4.根据权利要求1所述的单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,所述第一凹槽在所述开孔部的直径大于在所述螺纹部的直径。
5.根据权利要求4所述的单晶硅掺杂吊装工具,其特征在于,所述安装件上设有贯穿所述安装件侧壁的通孔,所述通孔位...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨帅,程冬平,周凌龙,刘学军,
申请(专利权)人:江苏矽腾半导体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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