一种用于长晶炉感应线圈的升降装置制造方法及图纸

本申请公开了一种用于长晶炉感应线圈的升降装置，属于晶体制备辅助设备技术领域。该装置包括框架、配重机构、衬板和第二传动件，框架用于固定感应线圈，框架上方设置有滑槽和定位孔；配重机构包括定滑轮、配重块、牵引绳和牵引件，定滑轮设置在长晶炉机架上，牵引绳绕过定滑轮一端与配重块连接，另一端与牵引件连接，牵引件固定连接在滑槽内；衬板设置在框架远离感应线圈的一侧，衬板远离框架的一侧设置有第一传动件；第二传动件固定在长晶炉机架上，第二传动件和第一传动件配合，第一传动件能够相对于第二传动件上升或下降。该装置能够降低运行生热和热量传递，从而降低对长晶炉热场均匀性的影响，并提高使用寿命及运行精度和可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及一种用于长晶炉感应线圈的升降装置，属于晶体制备辅助设备。

技术介绍

1、目前工业用碳化硅主流长晶方法为pvt法，具有结构简单，制造成本低的优点。pvt方法中常用的加热电源就是中频感应线圈，热场控制是pvt方法的工艺技术核心，对长晶质量起着决定性作用。传统的感应线圈升降结构采用电机驱动丝杠旋转带动感应线圈升降，为满足承载需求，传动丝杠一般采用碳素钢或合金钢材料，导磁性好，易生热，因其位置靠近感应线圈，会发生感应热和热辐射，导致丝杠局部温度过高，影响传动精度的同时会对长晶炉热场均匀性造成不良影响。

2、并且在生产过程中，丝杠润滑一般会采用润滑油润滑，常规的稀油润滑油会高温气化蒸发，若采用耐高温油脂润滑，油脂会随着高温加热逐渐硬化附着在丝杠滚道上，形成斑点状硬化附着物，难以清理的同时会加剧丝杠的磨损，使得丝杠长时间在高温下运行下无法正常润滑，难以有效保养维护，降低设备的运行精度，严重影响感应线圈升降装置的使用寿命及可靠性。

3、为了避免上述问题，目前有在丝杠传动和电磁加热之间增加导磁性弱的铝板或铜板进行隔磁或隔热板，然而该操作带本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，所述衬板为铝合金或铜合金材质，所述衬板的内部中空设置形成用于容纳冷却液的冷却腔。

3.根据权利要求2所述的用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，所述冷却腔内设置有若干个散热翅片，且所述散热翅片由上至下交错布置。

4.根据权利要求3所述的用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，所述衬板上设置有注液口和出液口，所述注液口与注液管路连接，所述出液口与出液管路连接，所述出液管路上设置有测温流量计。

5.根据权利要求1-4...

【技术特征摘要】

1.一种用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，所述衬板为铝合金或铜合金材质，所述衬板的内部中空设置形成用于容纳冷却液的冷却腔。

3.根据权利要求2所述的用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，所述冷却腔内设置有若干个散热翅片，且所述散热翅片由上至下交错布置。

4.根据权利要求3所述的用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，所述衬板上设置有注液口和出液口，所述注液口与注液管路连接，所述出液口与出液管路连接，所述出液管路上设置有测温流量计。

5.根据权利要求1-4任一项所述的用于长晶炉感应线圈的升降装置，其特征在于，所述框架上设置有弧形板状的隔热板。

6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱智勇，宁秀秀，张维刚，张长银，王振宇，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：