一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法技术方案

本发明专利技术涉及一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，属于无损检测技术领域；建立真空检漏系统；真空室通过管路与校准漏孔连接；将被检件放入真空室内部，关闭真空室大门；打开机械泵阀和分子泵阀；通过机械泵和分子泵对真空室进行抽真空处理，直至真空室的真空度稳定；启动检漏仪进入检漏状态；打开检漏阀，使检漏仪与真空室连通；通过微流量装置输入气体；检漏仪测数稳定后，读取真空检漏系统的本底数值I<subgt;0</subgt;和噪声数值I<subgt;n</subgt;；打开校准漏孔；检漏仪测数稳定后，测量校准漏孔的反应值I；计算真空检漏系统的有效最小检漏率Q<subgt;emin</subgt;，完成对系统灵敏度的测量；本发明专利技术实现了调节检漏系统前级真空度，从而降低检漏系统本底和噪声，提高系统检测灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于无损检测，涉及一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法。

技术介绍

1、随着航天器高频率发射，泄漏事件屡屡发生，通过系统调研发现承压产品泄漏在总装试验和发射前试验等环节均有发生，造成了较大损失。为了严格把控承压产品的密封质量，设计人员对承压产品的密封性能提出了越来越高的要求，一般总漏率指标要求为10-8～10-5pa·m3/s。

2、压力真空法氦质谱检漏技术具有系统灵敏度高、易实施和检测效率高等优点，被广泛应用于承压产品的总漏率检测中。由于承压产品检漏具有检测压力高，产品数量多，工装容易泄漏等特点，所以在大批量连续检测过程中，泄漏的氦气会在系统中残留，造成氦气污染，极易导致本底升高，灵敏度下降，有时甚至无法满足承压产品泄漏检测要求，严重影响了检测效率和检测可靠性。因此，需要研究和解决提高系统检测灵敏度的方法。

技术实现思路

1、本专利技术解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提出一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，实现了调节检漏系统前级真空度，从而降低检漏系统本底和噪声本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，其特征在于：所述真空室为中空腔体结构；真空室通过管路与分子泵阀的一端连通；分子泵阀的另一端通过管路与分子泵连通；分子泵通过四通分别与检漏阀的一端、机械泵阀的一端和微流量装置连通；检漏阀的另一端与检漏仪连通；机械泵阀的另一端与机械泵连通。

3.根据权利要求2所述的一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，其特征在于：真空室的侧壁通过管道与校准漏孔连通；初始状态校准漏孔为关闭状态。

4.根据权利要求3所述的一种提高...

【技术特征摘要】

1.一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，其特征在于：所述真空室为中空腔体结构；真空室通过管路与分子泵阀的一端连通；分子泵阀的另一端通过管路与分子泵连通；分子泵通过四通分别与检漏阀的一端、机械泵阀的一端和微流量装置连通；检漏阀的另一端与检漏仪连通；机械泵阀的另一端与机械泵连通。

3.根据权利要求2所述的一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，其特征在于：真空室的侧壁通过管道与校准漏孔连通；初始状态校准漏孔为关闭状态。

4.根据权利要求3所述的一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，其特征在于：机械泵和分子泵对真空室进行抽真空处理的具体方法为：

5.根据权利要求4所述的一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，其特征在于：当机械泵抽真空直至分子泵与真空室连接处的压力小...

【专利技术属性】
技术研发人员：葛丽，高晨家，马兆庆，袁生平，陈博，林鑫，申鹰翔，章妮，陈晗，
申请(专利权)人：航天材料及工艺研究所，
类型：发明
国别省市：