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本发明涉及一种提高压力真空法氦质谱检漏系统灵敏度的方法，属于无损检测技术领域；建立真空检漏系统；真空室通过管路与校准漏孔连接；将被检件放入真空室内部，关闭真空室大门；打开机械泵阀和分子泵阀；通过机械泵和分子泵对真空室进行抽真空处理，直至真空...
该专利属于航天材料及工艺研究所所有，仅供学习研究参考，未经过航天材料及工艺研究所授权不得商用。

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