【技术实现步骤摘要】
本申请属于污染物处理设备，具体涉及一种流体处理装置。
技术介绍
1、在半导体器件制造过程中，会生产大量包含有害物质的废弃流体，例如废气、废液等，废弃流体需采用流体处理装置净化处理，去除其中绝大部分有害物质，才能够排放到外界。
2、流体处理装置包括多个处理单元，多个处理单元串联或并联连接，废弃流体中有害物质主要在处理单元内去除。多个处理单元串联连接，废弃流体经过多个处理单元多段处理，有害物质去除率更高；多个处理单元并联连接，废弃流体分散到多个处理单元同步处理，流体处理装置工作效率更高。
3、半导体器件制造过程中生产的废弃流体总量及其中有害物质含量存在波动。然而，现有的流体处理装置为多个处理单元串联或并联连接，串联连接与并联连接无法同时存在，即不能根据实际需求切换多个处理单元的连接方式。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种流体处理装置，以解决多个处理器连接方式不能根据实际需求切换的问题。
2、为了达到上述目的，本申请提供了一种流体处理装置，包括：p>
3、输入单本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种流体处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的流体处理装置，其特征在于，所述污染处理组件还包括第三控制阀，所述第三控制阀的输入端为所述污染处理组件的输入端，所述第三控制阀的输出端与所述污染处理部件连接；
3.根据权利要求1所述的流体处理装置，其特征在于，所述第一处理单元包括多个所述污染处理组件和至少一个所述排放控制器，多个所述污染处理组件的输出端并联后，连接于并联的所述排放控制器和所述回流管道的所述一端，多个所述污染处理组件的输入端和所述连接管道的所述另一端并联形成所述第二端口。
4.根据权利要求1所述的流体处理...
【技术特征摘要】
1.一种流体处理装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的流体处理装置，其特征在于，所述污染处理组件还包括第三控制阀，所述第三控制阀的输入端为所述污染处理组件的输入端，所述第三控制阀的输出端与所述污染处理部件连接；
3.根据权利要求1所述的流体处理装置，其特征在于，所述第一处理单元包括多个所述污染处理组件和至少一个所述排放控制器，多个所述污染处理组件的输出端并联后，连接于并联的所述排放控制器和所述回流管道的所述一端，多个所述污染处理组件的输入端和所述连接管道的所述另一端并联形成所述第二端口。
4.根据权利要求1所述的流体处理装置，其特征在于，所述流体处理装置还包括检测单元，所述检测单元用于检测所述排放控制器排放的经所述污染处理部件处理后的流体的成分。
5.根据权利要求1所述的流体处理装置，其特征在于，所述流体包括废气，所述污染处理部件包括用...
【专利技术属性】
技术研发人员：庄见富，
申请(专利权)人：深圳市昇维旭技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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