一种陶瓷加热盘电极引出结构制造技术

本技术公开了一种陶瓷加热盘电极引出结构，包括本体组件和电极引出组件，所述本体组件包括陶瓷盘和下壳体，所述陶瓷盘安装于下壳体上，所述陶瓷盘和下壳体之间形成有空腔；所述电极引出组件设置有一对，一对所述电极引出组件均安装于陶瓷盘和下壳体之间的空腔内，所述电极引出组件包括螺纹管，所述螺纹管安装于陶瓷盘的底部侧壁上。本技术通过螺纹管与加热盘连接，螺纹管轴向留有缺口，可以吸收螺纹管受热产生的膨胀应力，避免螺纹管连接后由于热应力胀裂加热盘；同时螺纹管与螺纹槽连接不会产生密闭空间，螺纹槽内外气压平衡，不会产生空气压差，从而避免加热盘胀裂；并且本连接结构连接牢固，抗拉拔力强，且可以更换，方便后期维护。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于陶瓷加热盘，具体涉及一种陶瓷加热盘电极引出结构。

技术介绍

1、陶瓷加热器以其耐腐蚀、高热导率、低线膨胀系数等优点广泛应用于匀胶显影等半导体制备工艺中，其中丝网印刷技术凭借其工艺灵活性和精确性，成为了陶瓷加热器加热丝制备的主流工艺。

2、丝网印刷加热丝电极引出接线主要采用以下方式：

3、1、直接印刷连接：通过丝网印刷技术一次或多次印刷，使电极和引出线一体成型。

4、2、焊接连接：通过电阻焊、超声波焊接、激光焊接等将电极与引出线金属部分熔接。

5、3、机械连接：在陶瓷盘印刷电极位置预留螺纹孔，使用螺柱与陶瓷螺纹孔连接，将电极引出接线。

6、但是上述引出接线的方式在使用中存在以下问题：焊接或印刷连接，抗拉拔力较小，使用过程中连接位置容易发生断裂，且熔焊连接不可拆卸，难以维护更换；机械连接使用金属螺柱与陶瓷通过螺纹连接，由于金属和陶瓷热膨胀系数不同，在加热过程中产生热应力，螺柱与陶瓷变形不协调，容易将陶瓷胀裂；另外螺柱与陶瓷螺纹孔连接后，螺纹孔底部会形成密闭空腔，加热后空腔空气膨胀，形成内外压本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述陶瓷盘的底部设置有印刷加热丝，所述下壳体采用不锈钢材质制成。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述下壳体上一体成型有连接环，所述陶瓷盘安装于连接环上。

4.根据权利要求2所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述陶瓷盘上开设有多个第一螺纹孔，所述下壳体和连接环上均开设有多个与第一螺纹孔相匹配的第二螺纹孔。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述下壳体上开...

【技术特征摘要】

1.一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述陶瓷盘的底部设置有印刷加热丝，所述下壳体采用不锈钢材质制成。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述下壳体上一体成型有连接环，所述陶瓷盘安装于连接环上。

4.根据权利要求2所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述陶瓷盘上开设有多个第一螺纹孔，所述下壳体和连接环上均开设有多个与第一螺纹孔相匹配的第二螺纹孔。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述下壳体上开设有通孔，所述通孔开设于下壳体的中心处。

6.根据权利要求1所述的一种陶瓷加热盘电极引出结构，其特征在于，所述螺纹管采用中空...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金东，黎静，沈亚南，
申请(专利权)人：江苏实为半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：