一种用于真空泵的消音结构制造技术

本申请公开了一种用于真空泵的消音结构，该消音结构包括共振箱，共振箱具有并排设置的多个共振腔，多个共振腔依次连通，真空泵内的振动噪声通过泵体出口向外传播，并进入多个共振腔，声波在相互连通的多个共振腔的作用下产生共振并抵消，以削弱声波振幅。本申请中，相邻两个共振腔通过止逆通道和导流通道依次连通，并且同一共振腔连通于导流通道的开口和连通于止逆通道的开口间隔设置，如此气流和振动噪声在流动的过程中经历多次方向改变和路径延长，复杂的流动模式不仅通过多次反射、干涉进一步地削弱声波，降低振动噪声，还能够快速削弱气流流速，降低气流冲击产生的气动噪声，有效削弱真空泵运行过程的噪声水平。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及真空泵，尤其涉及一种用于真空泵的消音结构。

技术介绍

1、真空泵是指利用机械、物理、化学或者物理化学的方法对容器进行抽气，以获得和维持真空的装置，其广泛应用于冶金、化学、食品等行业。真空泵投入使用前需要对进行测试，由于测试场景中不便装设复杂的降噪结构，导致真空泵产生大量的运行噪声。真空泵运行过程中，真空泵将气体吸入、压缩并通过泵体出口排出，气体在泵内的压缩和流动的过程不可避免地产生振动噪声，而气体自泵体出口排出产生的气流冲击也会造成气动噪声，这些噪声不仅会恶化工作环境，还可能干扰精密电子设备的稳定运行。

2、相关技术中，通常真空泵的泵体出口连通波纹管，进而连通于排风管道，以对真空泵排出的气体进行收集和处理，并期望通过波纹管对泵体出口的气流进行导流以削弱真空泵的工作噪声，然而，波纹管对噪声的削减能力较弱，导致真空泵的运行噪声仍处于较高水平。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种用于真空泵的消音结构，能够解决测试过程中真空泵运行噪声程度高的技术问题。

2、本申请实施例提供了一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，包括共振箱(10)；

2.根据权利要求1所述的用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，所述共振箱(10)包括止逆壁，所述止逆壁包括第一板体(111)和第二板体(112)，所述第一板体(111)与所述第二板体(112)层叠设置并围合形成所述止逆通道(110)；

4.根据权利要求3所述的用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，多个所述共振腔(100)沿水平方向并排设置，所述止逆通道(110)包括止逆腔(1110)，所述止逆腔(1110)具有与所...

【技术特征摘要】

1.一种用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，包括共振箱(10)；

2.根据权利要求1所述的用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，所述共振箱(10)包括止逆壁，所述止逆壁包括第一板体(111)和第二板体(112)，所述第一板体(111)与所述第二板体(112)层叠设置并围合形成所述止逆通道(110)；

4.根据权利要求3所述的用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，多个所述共振腔(100)沿水平方向并排设置，所述止逆通道(110)包括止逆腔(1110)，所述止逆腔(1110)具有与所述共振腔(100)连通的止逆进口(110a)，所述止逆件(20)设于所述止逆腔(1110)；

5.根据权利要求4所述的用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的用于真空泵的消音结构(1)，其特征在于，所述共振箱(10)包括第一壳体(11)和设于所述第一壳体(11)内部的多个第一间隔壁(12)，多个第一间隔壁(12)并排设置，并且将所述第一壳体(11...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘旭鹏，杨全，陶俊恺，陈放，王丰，
申请(专利权)人：长沙华实半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：