【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于截断机控制方法的，具体涉及一种立式晶棒截断机。
技术介绍
1、目前，晶棒截断采用卧式截断机或立式截断机，在立式截断机截断的过程中，需要将晶棒进行夹持，并通过截断装置例如线切割装置或带锯切割装置对该晶棒进行切割截断，如现有技术申请号为201820988236.4的中国技术公开了一种立式金刚线截断机，包括物料输送台及设置在物料输送台一侧的切割机构，物料输送台包括底座、设置在底座上可沿y轴滑动的晶托座以及设置在晶托座上的可沿x轴滑动的多个定心夹爪组件，底座一侧设置有驱动电机，驱动电机的输出端设置有丝杠，晶托座底部与丝杠套接，晶托座上沿x轴方向设置有轨道，多个定心夹爪组件通过轨道与晶托座滑动连接，切割机构包括床身和设置在床身一端的切割头，切割头的上下两端分别设置有切割轮，两个切割轮之间设置有供棒料进出的缺口，切割线绕设在两个切割轮上形成单根切割线或切割线网，能够实现x轴和y轴方向的棒料进给，达到截断或切片的目的，结构简单，切割效率高，但是由于截断晶锭或硅片的过程中，截断的晶锭或硅片受重力影响会向下倾斜，导致晶锭或硅片边缘崩边或出现...
【技术保护点】
1.一种立式晶棒截断机，其特征在于，包括支撑组件、夹持组件、切割组件，所述支撑组件包括支撑立板、支撑架，所述切割组件包括防崩边部、切割部，所述夹持组件位于所述支撑架、切割部的上方，所述支撑立板位于所述支撑架的上方，所述防崩边部位于所述支撑架内，所述切割部位于所述防崩边部的上方，所述夹持组件、防崩边部、切割部位于所述支撑立板的同一侧，所述夹持组件与所述支撑立板连接，所述支撑立板的底部与所述支撑架的顶部一端连接，所述防崩边部的底部与所述支撑架的底部连接，所述切割部与所述支撑架滑动连接，所述夹持组件与所述防崩边部同轴，所述夹持组件竖直夹持晶棒，晶棒的底部与防崩边部接触，晶棒...
【技术特征摘要】
1.一种立式晶棒截断机，其特征在于，包括支撑组件、夹持组件、切割组件，所述支撑组件包括支撑立板、支撑架，所述切割组件包括防崩边部、切割部，所述夹持组件位于所述支撑架、切割部的上方，所述支撑立板位于所述支撑架的上方，所述防崩边部位于所述支撑架内，所述切割部位于所述防崩边部的上方，所述夹持组件、防崩边部、切割部位于所述支撑立板的同一侧，所述夹持组件与所述支撑立板连接，所述支撑立板的底部与所述支撑架的顶部一端连接，所述防崩边部的底部与所述支撑架的底部连接，所述切割部与所述支撑架滑动连接，所述夹持组件与所述防崩边部同轴，所述夹持组件竖直夹持晶棒，晶棒的底部与防崩边部接触，晶棒与防崩边部相互施加反方向的力，以将晶棒被截断部分抵住。
2.如权利要求1所述的立式晶棒截断机，其特征在于，所述防崩边部包括伸缩件、吸盘、工装件，所述伸缩件、吸盘、工装件均位于所述切割部的下方，所述伸缩件的底部与所述支撑架连接，所述伸缩件的顶部与所述吸盘的底部连接，所述吸盘、工装件与所述夹持组件同轴，所述伸缩件使所述吸盘竖直上升或下降，以使所述吸盘的顶部与所述工装件或晶棒的底部接触，所述工装件的顶部与所述晶棒接触。
3.如权利要求2所述的立式晶棒截断机，其特征在于，所述防崩边部还包括水平移动件，所述水平移动件包括第一电机、第一丝杆、第一滑块，所述伸缩件位于所述第一滑块的上方，所述第一电机的输出端与所述第一丝杆的一端连接，所述第一丝杆的另一端与所述第一滑块螺纹连接，所述第一滑块的顶部与所述伸缩件的底部连接，所述第一电机驱动所述第一丝杆转动，所述第一丝杆转动带动所述第一滑块水平移动，以使所述伸缩件向靠近或远离支撑立板的方向移动。
4.如权利要求3所述的立式晶棒截断机，其特征在于，所述伸缩件包括第二电机、伸缩气缸，所述第二电机、伸缩气缸均位于所述第一滑块上，所述第二电机、伸缩气缸的底部均与所述第一滑块的顶部连接，所述第二电机的输出端与所述伸缩气缸的一端连接，所述伸缩气缸的另一端与所述吸盘的底部连接。
5.如权利要求3所述的立式晶棒截断...
【专利技术属性】
技术研发人员：石鑫，芮阳，王黎光，赵延祥，程博，白玉，何洋，赵娜，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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