一种具有25极化状态的层间铁电晶体管及其制备方法技术

一种具有25极化状态的层间铁电晶体管及其制备方法，属于铁电功能器件领域，本发明专利技术基于石墨烯/六方氮化硼(Gr/hBN)异质结构制备层间铁电晶体管，异质结Gr/hBN置于SiO<subgt;2</subgt;/Si衬底上，底层为hBN薄片，顶层为单层Gr，Gr和hBN之间的转角通过干法转移控制在1°以内；通过电子束曝光和电子束蒸镀工艺进一步制备Gr/hBN层间铁电晶体管；其能够在室温下实现超过25个稳定极化状态，并且能够进一步作为人工神经突触被应用于神经形态计算，展现出优异的计算准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体管制造制备，具体涉及一种具有25极化状态的层间铁电晶体管及其制备方法。

技术介绍

1、人工智能和机器学习的出现促使神经形态计算以克服冯·诺依曼框架中的内存墙瓶颈。在此背景下，铁电材料可以产生多种电可寻址的极化状态，已经发展成为神经形态硬件的有力候选材料。极化态的数量显著决定了神经形态硬件的计算精度和存储密度。在传统三维氧化物铁电体中，早期的尝试是通过引入晶格缺陷、异质界面或相变来调节偶极态和成核能。然而，当三维铁电体以薄膜形式用于器件集成时，离散极化态的计数减少到不到四个。相比之下，新兴的范德华铁电体可以通过特殊的离子迁移机制表现出四重/六重极化状态。尽管在现有的铁电材料中已有广泛努力创造稳定的多态极化，但由于可调自由度有限，室温下稳定极化态的数量仍然少于16(<4-bit)。此外，现有铁电器件的高厚度和复杂堆垛结构进一步限制了器件的小型化和高密度集成。针对现有技术的不足，本专利技术设计并制备了一种结构简洁的具有25极化状态的层间铁电晶体管。

技术实现思路

1、解决的技术问题：针对现有本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，所述S1具体步骤为：

3.根据权利要求1所述的一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，所述S2具体步骤为：

4.根据权利要求3所述的一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，所述S203中PPC试剂的质量分数为15％质量分数，溶剂为苯甲醚。

5.根据权利要求1所述的一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，所述S3中PC试剂...

【技术特征摘要】

1.一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，所述s1具体步骤为：

3.根据权利要求1所述的一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，所述s2具体步骤为：

4.根据权利要求3所述的一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，所述s203中ppc试剂的质量分数为15％质量分数，溶剂为苯甲醚。

5.根据权利要求1所述的一种具有25极化状态的层间铁电晶体管的制备方法，其特征在于，所述s3中pc试剂的质量分数为5％，溶剂为二氯甲烷。...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘衍朋，王小钒，王琴，郭万林，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：