本发明专利技术提供了一种管式炉内外温度校正方法和带有温度校正功能的管式炉，通过采集一系列管内测温装置实时测量值T<subgt;内</subgt;与管外测温装置实时测量值T<subgt;外</subgt;的对应值，运用统计分析或机器学习算法，生成多段描述T<subgt;内</subgt;与T<subgt;外</subgt;之间关系的拟合线。使用过程中，利用管外测温装置的测量值和拟合线，对管式炉反应区的温度进行校正，避免了温度测量装置设置在炉管外带来的测量偏差，以实现管式炉管内温度的精准测量和控制。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高温烧结，具体涉及一种管式炉内外温度校正方法和带有温度校正功能的管式炉。
技术介绍
1、在化学合成、材料科学以及其它相关领域中，精确控制反应器内部温度对于实现高质量的产品至关重要。管式炉作为一种常用的高温加热设备，在工业生产和科学研究中扮演着重要角色。
2、传统管式炉的温度控制方法通常是，在炉内安装一个或多个热电偶，用以监测炉内的实际温度，并将信号传送给温度控制器，温度控制器通过反馈回路自动调节加热元件的功率。
3、管式炉是化学气相沉积常用的装置。在化学气相沉积过程中，沉积温度对于薄膜的生长速率、晶体结构、纯度以及最终性能有着决定性的影响，为了能精准的测量和控制温度，需要将测温装置尽量靠近反应区。但化学气相沉积形成薄膜工艺中，气态物质在基底上产生化学反应和传输反应等并形成薄膜，热电偶通常由金属或合金制成，热电偶外露，会导致金属材料气化，或与反应环境中的气态物质发生反应，从而影响测量的准确性，甚至污染沉积的薄膜。
4、现有技术中，有些气相沉积装置，将热电偶放置在石英管外并贴近石英管，以在反应区的外部测量温度。本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种管式炉内外温度的校正方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的管式炉内外温度的校正方法，其特征在于，拟合线生成阶段包括如下步骤：根据收集的数据画出T外和T内差异图，并进行温度小区间划分，以获得多段拟合线。
3.根据权利要求1所述的管式炉内外温度的校正方法，其特征在于，数据校正阶段包括：管外测温装置实时测量值T外传输到控制系统，控制系统通过拟合线计算，校正得到管式炉内反应区的实时温度T内。
4.一种准确获取管式炉内反应温度的方法，其特征在于，包括采用权利要求1-3任一项校正方法获取管式炉内反应温度。
>5.一种管式炉加热...
【技术特征摘要】
1.一种管式炉内外温度的校正方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的管式炉内外温度的校正方法，其特征在于，拟合线生成阶段包括如下步骤：根据收集的数据画出t外和t内差异图，并进行温度小区间划分，以获得多段拟合线。
3.根据权利要求1所述的管式炉内外温度的校正方法，其特征在于，数据校正阶段包括：管外测温装置实时测量值t外传输到控制系统，控制系统通过拟合线计算，校正得到管式炉内反应区的实时温度t内。
4.一种准确获取管式炉内反应温度的方法，其特征在于，包括采用权利要求1-3任一项校正方法获取管式炉内反应温度。
5.一种管式炉加热温度的精准控制方法，其特征在于，在管式炉的控制系统中设置预设目标温度t预设，采用权利要求1-3任一项所述的校正方法获取加热装置所需达到的加热温度t加热装置；控制系统将获取的管外测温装置实时测量值t外与加热装置所需达到的加热温度t加热装置比较，控制管外测温装置实时测量值t外为加热装置所需达到的加热温度t加热装置。
6.一种准确获取可视化管式炉中反应温度的方法，其特征在于，包括如下步骤：
7.根据权利要求6所述的准确获取可视化管式炉中反应温度的方法，其特征在于，步骤（3）中的各反应节点包括粉末原料熔化、薄膜形成、薄膜被刻蚀和薄膜形状变化中的一种或几种。
8.根据权利要求6所述的准确获取可视化管式炉中反应温度的方法，其特征在于，步骤（2）中预设的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王迪，吴国政，许向鹏，余承军，
申请(专利权)人：苏州基元科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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