一种适用于可视化CVD且气密性能强的炉管制造技术

本技术公开了一种适用于可视化CVD且气密性能强的炉管，包括中间长方管体，所述中间长方管体的两端分别设置有圆柱管体，所述中间长方管体和两端圆柱管体之间通过环形焊料层焊接固定，每一所述圆柱管体远离所述中间长方管体的一端设置有气密性机构；通过上述方式，本技术能够适用于可视化化学气相沉积(CVD)设备、气密性能强，有效克服传统炉管在观察便利性和密封稳定性的技术弊端。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及烧结设备领域，特别是涉及一种适用于可视化cvd且气密性能强的炉管。

技术介绍

1、高温烧结是晶体生长、材料合成等技术工艺中的重要环节之一，实时获得高温烧结中的信息对于工业生产和科学研究十分重要，传统炉管通常采用圆柱形状，而此种典型的圆形炉管形状由于与显微镜的工作距离和管路设计存在差异，从而导致畸变、模糊或者失真的图像，不能与市面上普遍使用的显微镜进行耦合，从而限制了实时监测和观察的能力；现有技术中也有提出采用方形管，但是方形管的设计无法确保良好的气密性，很容易导致气氛漏气，从而影响反应环境的稳定性和材料生长的质量。

技术实现思路

1、本技术主要解决的技术问题是提供一种炉管，适用于可视化化学气相沉积(cvd)设备、气密性能强，有效克服传统炉管在观察便利性和密封稳定性的技术弊端。

2、为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种适用于可视化cvd且气密性能强的炉管，包括中间长方管体，所述中间长方管体的两端分别设置有圆柱管体，所述中间长方管体和两端圆柱管体之间通过环形焊料层焊接固定本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适用于可视化CVD且气密性能强的炉管，其特征在于：包括中间长方管体(1)，所述中间长方管体(1)的两端分别设置有圆柱管体(2)，所述中间长方管体(1)和两端圆柱管体(2)之间通过环形焊料层(3)焊接固定，每一所述圆柱管体(2)远离所述中间长方管体(1)的一端设置有气密性机构。

2.根据权利要求1所述的一种适用于可视化CVD且气密性能强的炉管，其特征在于：所述气密性机构包括套设在所述圆柱管体(2)外的法兰(4)，所述法兰(4)的开口处设置有堵头(5)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于可视化CVD且气密性能强的炉管，其特征在于：所述法兰(4)内设置有密封腔...

【技术特征摘要】

1.一种适用于可视化cvd且气密性能强的炉管，其特征在于：包括中间长方管体(1)，所述中间长方管体(1)的两端分别设置有圆柱管体(2)，所述中间长方管体(1)和两端圆柱管体(2)之间通过环形焊料层(3)焊接固定，每一所述圆柱管体(2)远离所述中间长方管体(1)的一端设置有气密性机构。

2.根据权利要求1所述的一种适用于可视化cvd且气密性能强的炉管，其特征在于：所述气密性机构包括套设在所述圆柱管体(2)外的法兰(4)，所述法兰(4)的开口处设置有堵头(5)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于可视化cvd且气密性能强的炉管，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王迪，许向鹏，吴国政，顾萌萌，
申请(专利权)人：苏州基元科技有限公司，
类型：新型
国别省市：