一种底部可调的压电变形镜制造技术

技术编号:43870060 阅读:47 留言:0更新日期:2024-12-31 18:55
一种底部可调的压电变形镜,它包含可变形镜面、连接柱、压电致动器、底座和调节件,所述底座内设有带内螺纹的盲孔阵列,盲孔底部形成孔底膜片,盲孔阵列中每个盲孔旋拧有一调节件,调节件的顶部与所述孔底膜片接触,压电致动器的底部与孔底膜片连接,压电致动器的顶部通过连接柱与可变形镜面相连,所述多个连接柱、多个致动器、盲孔阵列一一对应并同轴布置。本技术利用调节件的调节可以调整镜面的变形,用于补偿变形镜的初始静态变形,使变形镜具有很好的初始平面度。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光学器件,具体涉及一种底部可调的压电变形镜


技术介绍

1、变形镜是自适应光学系统的核心器件之一,变形镜作为自适应光学系统中的波前校正器,它通过实时改变自身镜面的形貌,实现对光学系统中的波前畸变进行校正,实时校正相差获得高质量的光束,使系统达到理想状态。压电变形镜采用压电致动器推动镜面变形,具有大行程、高频响、性能稳定。但传统变形镜的可变形镜面较薄,在制作受到应力及自身平整度的影响,要实现小于一个波长的镜面初始平面度十分困难。


技术实现思路

1、本技术为克服现有技术,提供一种底部可调的压电变形镜,通过机械结构调节实现调整镜面的变形,用于补偿变形镜的初始静态变形。

2、一种底部可调的压电变形镜包含可变形镜面、连接柱、压电致动器、底座和调节件,所述底座内设有带内螺纹的盲孔阵列,盲孔底部形成孔底膜片,盲孔阵列中每个盲孔旋拧有一调节件,调节件的顶部与所述孔底膜片接触,压电致动器的底部与孔底膜片连接,压电致动器的顶部通过连接柱与可变形镜面相连,所述多个连接柱、多个致动器、盲孔阵列一一对应并同轴布置本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种底部可调的压电变形镜,其特征在于:包含可变形镜面(1)、连接柱(2)、压电致动器(3)、底座(4)和调节件(5),所述底座(4)内设有带内螺纹的盲孔阵列,盲孔底部形成孔底膜片,盲孔阵列中每个盲孔旋拧有一调节件(5),调节件(5)的顶部与所述孔底膜片接触,压电致动器(3)的底部与孔底膜片连接,压电致动器(3)的顶部通过连接柱(2)与可变形镜面(1)相连,所述多个连接柱(2)、多个致动器(3)、盲孔阵列一一对应并同轴布置。

2.根据权利要求1所述一种底部可调的压电变形镜,其特征在于:所述调节件(5)包含顶部(51)和本体(52);顶部(51)和本体(52)同心轴连接为一体...

【技术特征摘要】

1.一种底部可调的压电变形镜,其特征在于:包含可变形镜面(1)、连接柱(2)、压电致动器(3)、底座(4)和调节件(5),所述底座(4)内设有带内螺纹的盲孔阵列,盲孔底部形成孔底膜片,盲孔阵列中每个盲孔旋拧有一调节件(5),调节件(5)的顶部与所述孔底膜片接触,压电致动器(3)的底部与孔底膜片连接,压电致动器(3)的顶部通过连接柱(2)与可变形镜面(1)相连,所述多个连接柱(2)、多个致动器(3)、盲孔阵列一一对应并同轴布置。

2.根据权利要求1所述一种底部可调的压电变形镜,其特征在于:所述调节件(5)包含顶部(51)和本体...

【专利技术属性】
技术研发人员:李艳应晨章科宇冯敏
申请(专利权)人:宁波奇镜科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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