【技术实现步骤摘要】
本技术属于光学器件,具体涉及一种底部可调的压电变形镜。
技术介绍
1、变形镜是自适应光学系统的核心器件之一,变形镜作为自适应光学系统中的波前校正器,它通过实时改变自身镜面的形貌,实现对光学系统中的波前畸变进行校正,实时校正相差获得高质量的光束,使系统达到理想状态。压电变形镜采用压电致动器推动镜面变形,具有大行程、高频响、性能稳定。但传统变形镜的可变形镜面较薄,在制作受到应力及自身平整度的影响,要实现小于一个波长的镜面初始平面度十分困难。
技术实现思路
1、本技术为克服现有技术,提供一种底部可调的压电变形镜,通过机械结构调节实现调整镜面的变形,用于补偿变形镜的初始静态变形。
2、一种底部可调的压电变形镜包含可变形镜面、连接柱、压电致动器、底座和调节件,所述底座内设有带内螺纹的盲孔阵列,盲孔底部形成孔底膜片,盲孔阵列中每个盲孔旋拧有一调节件,调节件的顶部与所述孔底膜片接触,压电致动器的底部与孔底膜片连接,压电致动器的顶部通过连接柱与可变形镜面相连,所述多个连接柱、多个致动器、盲孔阵
...【技术保护点】
1.一种底部可调的压电变形镜,其特征在于:包含可变形镜面(1)、连接柱(2)、压电致动器(3)、底座(4)和调节件(5),所述底座(4)内设有带内螺纹的盲孔阵列,盲孔底部形成孔底膜片,盲孔阵列中每个盲孔旋拧有一调节件(5),调节件(5)的顶部与所述孔底膜片接触,压电致动器(3)的底部与孔底膜片连接,压电致动器(3)的顶部通过连接柱(2)与可变形镜面(1)相连,所述多个连接柱(2)、多个致动器(3)、盲孔阵列一一对应并同轴布置。
2.根据权利要求1所述一种底部可调的压电变形镜,其特征在于:所述调节件(5)包含顶部(51)和本体(52);顶部(51)和本体(5
...【技术特征摘要】
1.一种底部可调的压电变形镜,其特征在于:包含可变形镜面(1)、连接柱(2)、压电致动器(3)、底座(4)和调节件(5),所述底座(4)内设有带内螺纹的盲孔阵列,盲孔底部形成孔底膜片,盲孔阵列中每个盲孔旋拧有一调节件(5),调节件(5)的顶部与所述孔底膜片接触,压电致动器(3)的底部与孔底膜片连接,压电致动器(3)的顶部通过连接柱(2)与可变形镜面(1)相连,所述多个连接柱(2)、多个致动器(3)、盲孔阵列一一对应并同轴布置。
2.根据权利要求1所述一种底部可调的压电变形镜,其特征在于:所述调节件(5)包含顶部(51)和本体...
【专利技术属性】
技术研发人员:李艳,应晨,章科宇,冯敏,
申请(专利权)人:宁波奇镜科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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