【技术实现步骤摘要】
本技术涉及多晶硅生产，具体涉及一种在三氯氢硅制备过程中，将小流量的反应后混合气体从主管道采出，经过降温除尘段后回到氢化反应器的环腔内，保持氢化反应器与环腔内压力一致，以起到减小氢化反应器壳体所受应力的作用的装置。
技术介绍
1、多晶硅是电子信息产业与光伏产业的关键基础原料。随着太阳能光伏产业的迅猛发展，多晶硅的需求不断增加。近年来我国在光伏产业充分利用自身技术基础额产业配套优势，且在产业政策引导和市场需求驱动的双重作用下实现了快速发展。目前多晶硅的生产工艺主要采用改良西门子法和硅烷裂解法，改良西门子法是通过将三氯氢硅还原来产生多晶硅；而硅烷裂解法则是三氯氢硅首先发生歧化反应生成硅烷气，硅烷气再发生裂解产生多晶硅。这两种生产工艺均需要利用三氯氢硅作为生产原料，可见三氯氢硅的制备已成为多晶硅行业必备的生产工艺。
2、利用四氯化硅制备三氯氢硅有反歧化方法和氢化方法两大类工艺，氢化技术包括热氢化技术、低温催化氢化方法、冷氢化方法、氯氢化方法和等离子体氢化方法。冷氢化法是以硅粉、氢气和四氯化硅为原料，采用铜基、镍基或铁基等催化剂，在流...
【技术保护点】
1.一种具有压力自适应功能的夹套式四氯化硅氢化反应器；其特征是，在氢化反应器外部安装一个外层夹套，与氢化反应器壳体形成环腔，腔体与降温除尘段系统连接形成自身循环结构。
2.如权利要求1所述的具有压力自适应功能的夹套式四氯化硅氢化反应器；其特征是，降温除尘段设置小流量的反应后混合气体采出管线，依次连接空冷器、换热器、气液分离器、活性炭吸附柱，最后连接氢化反应器的环腔底部，形成自循环结构；降温除尘段设置在氢化反应器顶部、或高温一级换热器与高温二级换热器之间、或高温二级换热器与高温三级换热器之间、或高温三级换热器与硅粉过滤器之间。
3.如权利要求1所...
【技术特征摘要】
1.一种具有压力自适应功能的夹套式四氯化硅氢化反应器；其特征是，在氢化反应器外部安装一个外层夹套，与氢化反应器壳体形成环腔，腔体与降温除尘段系统连接形成自身循环结构。
2.如权利要求1所述的具有压力自适应功能的夹套式四氯化硅氢化反应器；其特征是，降温除尘段设置小流量的反应后混合气体采出管线，依次连接空冷器、换热器、气液分离器、活性炭吸附柱，最后连接氢化反应器的环腔底部，形成自循环结构；降温除尘段设置在氢化反应器顶部、或高温一级换热器与高温二级换热器之间、或高温二级换热器与高温三级换热器之间、或高温三级换热器与硅粉过滤器之间。
3.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄国强，齐鑫，任金锁，王乃治，张学斌，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：新型
国别省市：
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