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本技术公开了一种具有压力自适应功能的夹套式四氯化硅氢化反应器，具体涉及多晶硅生产领域；设备装置包括氢化反应器、电加热器、换热器、硅粉过滤器，装置设有降温除尘段。本装置在氢化反应器外部安装一个外层夹套，与氢化反应器壳体形成环腔，腔体与降温除尘...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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