一种用于保证连接强度的硅片承载装置制造方法及图纸

本技术公开了一种用于保证连接强度的硅片承载装置，包括承载框（1）和承载盘（2），承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，承载框（1）设置有横向支撑杆（8）和纵向支撑杆（10），承载盘（2）定位安装在承载框（1）上，存放槽（3）的外平面与承载框（1）的外平面处于同一水平面上，存放槽（3）的外平面分段设置有厚板，本技术能够保证承载盘和承载框的连接强度，不会对承载盘造成损坏，并且在镀膜之后避免产生黄粉。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片设备，涉及一种用于保证连接强度的硅片承载装置。

技术介绍

1、硅片需要经过多道工序才能成为电池片，其中有一道工序是等离子增强型化学气相淀积pecvd，其目的是为了减少光的反射损失，增强吸收光的强度，从而提高电池效率。此道工序中需要硅片承载装置，用于装载硅片，并带动硅片在各个加工工位之间移动，实现硅片的镀膜或其他加工。

2、目前承载盘定位安装在承载框上时的连接强度比较差，而且在使用螺丝锁紧时会对承载盘造成损坏，导致温度不均匀的镀膜，硅片在镀膜结束后会出现黄粉。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的上述问题，本申请提供了一种用于保证连接强度的硅片承载装置。

2、本技术的技术方案如下：

3、一种用于保证连接强度的硅片承载装置，包括承载框和承载盘，承载盘上设有一个或多个存放槽，在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在存放槽中，加工时通过承载框的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，承载框设置有横向支撑杆和纵向支撑杆，承载盘定位安装在承载框上，存放槽的外平面与承载框的外平面本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于保证连接强度的硅片承载装置，其特征在于：包括承载框（1）和承载盘（2），所述承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在所述存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，所述承载框（1）设置有横向支撑杆（8）和纵向支撑杆（10），所述承载盘（2）定位安装在承载框（1）上，所述存放槽（3）的外平面与承载框（1）的外平面处于同一水平面上，所述存放槽（3）的外平面分段设置有厚板；

2.根据权利要求1所述的用于保证连接强度的硅片承载装置，其特征在于：相邻的横向支撑杆（8）之间设置有连接杆（9）。

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【技术特征摘要】

1.一种用于保证连接强度的硅片承载装置，其特征在于：包括承载框（1）和承载盘（2），所述承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在所述存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，所述承载框（1）设置有横向支撑杆（8）和纵向支撑杆（10），所述承载盘（2）定位安装在承载框（1）上，所述存放槽（3）的外平面与承载框（1）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高晗，杨总明，刘小明，王小东，温科胜，
申请(专利权)人：南通玖方新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：

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