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本技术公开了一种用于保证连接强度的硅片承载装置，包括承载框（1）和承载盘（2），承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，承载...该专利属于南通玖方新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南通玖方新材料股份有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种用于保证连接强度的硅片承载装置，包括承载框（1）和承载盘（2），承载盘（2）上设有一个或多个存放槽（3），在上料时通过机械手将待加工的硅片放置在存放槽（3）中，加工时通过承载框（1）的移动带动硅片在各个加工工位之间转移，承载...