一种避免磨损的载板支撑梁制造技术

本发明专利技术公开了一种避免磨损的载板支撑梁，包括承载框支撑梁和耐磨槽体（14），所述承载框支撑梁卡合有多个耐磨槽体（14），所述耐磨槽体（14）的右侧设置有限位凸块（23），所述耐磨槽体（14）的左侧设置有限位凹槽（16），相邻的耐磨槽体（14）通过限位凸块（23）和限位凹槽（16）的扣合进行连接，本发明专利技术设置的多个耐磨槽体可完整的将承载框支撑梁底部和侧面保护起来，有效的保护非金属材质的支撑梁，避免与滚轮直接接触时磨损产生的粉末污染硅片，确保了硅片的镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空镀膜设备，涉及一种避免磨损的载板支撑梁。

技术介绍

1、等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition，pecvd)是一种被广泛应用于半导体及太阳能电池片领域的镀膜方法，待镀基片放置在载板承载框表面，完成镀膜工艺。载板作为太阳能电池片镀膜工序中，装载电池片进入镀膜设备的一个装载用具，因此整个镀膜工程中对载板表现要求很高，载板的好坏会直接影响到后道工序硅片的质量。

2、早期载板承载框支撑梁是由碳复合材料或石墨材料组成，放在镀膜设备腔体内滚轮上面，滚轮旋转带动载板在各个腔体内移动，载板依靠与滚轮间的摩擦力进行移动，会逐渐使载板支撑梁磨损，出现不平整沟槽并产生粉末，随之导致载板振动和硅片被污染，从而对硅片的镀膜质量造成极大的影响。

技术实现思路

1、专利技术目的：本专利技术的目的是为了解决现有技术中的不足，提供一种避免磨损的载板支撑梁。

2、技术方案：本专利技术一种避免磨损的载板支撑梁，包括承载框支撑梁和耐磨槽体本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种避免磨损的载板支撑梁，其特征在于：包括承载框支撑梁和耐磨槽体（14），所述承载框支撑梁卡合有多个耐磨槽体（14），所述耐磨槽体（14）的右侧设置有限位凸块（23），所述耐磨槽体（14）的左侧设置有限位凹槽（16），相邻的耐磨槽体（14）通过限位凸块（23）和限位凹槽（16）的扣合进行连接。

2.根据权利要求1所述的一种避免磨损的载板支撑梁，其特征在于：所述承载框支撑梁包括承载框支撑梁一（1）、承载框支撑梁二（4）、承载框支撑梁三（9），所述承载框支撑梁二（4）设置于承载框支撑梁一（1）和承载框支撑梁三（9）之间，所述承载框支撑梁一（1）、承载框支撑梁二（4）开设有左卡...

【技术特征摘要】

1.一种避免磨损的载板支撑梁，其特征在于：包括承载框支撑梁和耐磨槽体（14），所述承载框支撑梁卡合有多个耐磨槽体（14），所述耐磨槽体（14）的右侧设置有限位凸块（23），所述耐磨槽体（14）的左侧设置有限位凹槽（16），相邻的耐磨槽体（14）通过限位凸块（23）和限位凹槽（16）的扣合进行连接。

2.根据权利要求1所述的一种避免磨损的载板支撑梁，其特征在于：所述承载框支撑梁包括承载框支撑梁一（1）、承载框支撑梁二（4）、承载框支撑梁三（9），所述承载框支撑梁二（4）设置于承载框支撑梁一（1）和承载框支撑梁三（9）之间，所述承载框支撑梁一（1）、承载框支撑梁二（4）开设有左卡槽（6）和右卡槽（7）。

3.根据权利要求2所述的一种避免磨损的载板支撑梁，其特征在于：所述承载框支撑梁一（1）开设有定位孔一（2）和定位孔二（3），所述承载框支撑梁二（4）开设有定位孔三（5）和定位孔四（8），所述承载框支撑梁三（9）开设有定位孔五（10）和定位孔六（11），所述耐磨槽体（14）的底部开设有定位孔七（12）和定位孔八（13），所述耐磨槽体（14）的顶部开设有定位孔九（17）和定位孔十（21），沉头螺钉一（18）穿通过所述定位孔九（17）、定位孔八（13）、定位孔五（10）、定位孔三（5）和定位孔一（2），沉头螺钉二（20）穿通过所述定位孔十（21）、定位孔七（12）、定位孔六（11）、定位孔四（8）和定位孔二（3）。

4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：高晗，杨宗明，王小东，唐志意，刘尧平，
申请(专利权)人：南通玖方新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：