【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于阀门，具体涉及一种具有控制漏率功能的阀门及其控制方法。
技术介绍
1、半导体材料mo源，是一种高纯金属有机化合物，是现代化合物半导体产业的支撑原材料。mo源呈液态源状态在生产和研发过程中需要对mo原材料进行储存、运输、供给等进行控制。
2、由于mo源通常包含具有腐蚀性的化学物质，这可能导致阀门材料的腐蚀或磨损，而且mo源的气体通常具有较高的挥发性和反应性，阀门的密封性能必须非常可靠，否则可能出现气体泄漏问题。这不仅会导致材料浪费，还可能影响设备的安全性；这时需要一种阀门能满足超高纯度、耐高温、耐酸碱、有效控制漏率的高性能阀门。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种具有控制漏率功能的阀门及其控制方法，能够有效达到高密封性效果，避免阀门在关闭下出现泄漏的现象，有效提升其稳定性。
2、本专利技术采取的技术方案具体如下：
3、一种具有控制漏率功能的阀门，包括阀体，所述阀体内开设有导流槽，所述阀体顶部装配有滑块座，所述滑块座与阀体之间侧壁上螺...
【技术保护点】
1.一种具有控制漏率功能的阀门，其特征在于：包括阀体(1)，所述阀体(1)内开设有导流槽，所述阀体(1)顶部装配有滑块座(3)，所述滑块座(3)与阀体(1)之间侧壁上螺纹连接有连接螺帽(2)，所述滑块座(3)内螺纹连接有阀杆(5)，所述阀杆(5)顶端延伸至滑块座(3)外侧并固定连接有旋转手柄(4)，所述阀杆(5)底端固定连接有滑块(6)，所述阀体(1)内腔设置有阀芯组件。
2.根据权利要求1所述的一种具有控制漏率功能的阀门，其特征在于：所述阀芯组件包括设置在阀体(1)内的活动杆(7)，所述活动杆(7)截面呈T形设置，所述活动杆(7)侧壁与阀体(1)内腔之间...
【技术特征摘要】
1.一种具有控制漏率功能的阀门，其特征在于：包括阀体(1)，所述阀体(1)内开设有导流槽，所述阀体(1)顶部装配有滑块座(3)，所述滑块座(3)与阀体(1)之间侧壁上螺纹连接有连接螺帽(2)，所述滑块座(3)内螺纹连接有阀杆(5)，所述阀杆(5)顶端延伸至滑块座(3)外侧并固定连接有旋转手柄(4)，所述阀杆(5)底端固定连接有滑块(6)，所述阀体(1)内腔设置有阀芯组件。
2.根据权利要求1所述的一种具有控制漏率功能的阀门，其特征在于：所述阀芯组件包括设置在阀体(1)内的活动杆(7)，所述活动杆(7)截面呈t形设置，所述活动杆(7)侧壁与阀体(1)内腔之间套设有弹簧(8)，所述活动杆(7)侧壁靠近底端处装配有阀杆嵌筒(9)，所述阀杆嵌筒(9)内设置有密封件。
3.根据权利要求2所述的一种具有控制漏率功能的阀门，其特征在于：所述密封件包括设置在阀杆嵌筒(9)内的阀杆衬套(10)，所述阀杆衬套(10)内装配有嵌件(11)，所述嵌件(11)底部端面为锥形。
4.根据权利要求3所述的一种具有控制漏率功能的阀门，其特征在于：所述阀杆衬套(10)侧壁呈阶梯式分布，所述阀杆衬套...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛辉，李云飞，
申请(专利权)人：上海聚克流体控制有限公司，
类型：发明
国别省市：
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