【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于超高纯流体系统,具体涉及一种阀门动态颗粒度测试方法。
技术介绍
1、该专利技术主要应用于超高纯流体系统;超高纯流体系统通常用于如半导体制造、制药、航空航天等对流体纯净度要求极高的领域;在这些系统中,即使是极微量的颗粒污染也可能导致产品质量下降或设备故障,所以需要对系统中的各种部件,如阀门,进行严格的颗粒度测试;
2、超高纯流体系统中,阀门在开启和关闭动作时会产生动态颗粒污染,这会对系统的洁净度产生关键影响;然而,传统的颗粒物检测方法存在两大主要缺陷:
3、流量波动干扰:当阀门开关瞬间,会导致流量的突然变化;这种流量突变会使颗粒计数器的采样流量不稳定,从而使得测量数据失真,影响到测试结果的准确性;
4、非动态模拟:以往的静态测试方法无法真实反映阀门在实际工作状态下的瞬态颗粒释放特性;如:阀门在密封面磨损或受剪切力变化时会释放颗粒,但静态测试无法捕捉到这些动态情况下的颗粒释放情况,为此我们提出一种阀门动态颗粒度测试方法。
技术实现思路
1、本专
...【技术保护点】
1.一种阀门动态颗粒度测试方法,包括:进气调压阀(1)、压力表(2)、高压控制器(9)、粒子计数器(10)、主通道以及测试通道,所述主通道与测试通道并联后共同连接于粒子计数器(10),其特征在于:
2.根据权利要求1所述的一种阀门动态颗粒度测试方法,其特征在于:将主通道与测试通道中的流体流量调整至对应预设流量的具体过程为:
3.根据权利要求2所述的一种阀门动态颗粒度测试方法,其特征在于:短期波动和长期趋势均正常后,构建流量-时间曲线和压力-时间曲线,具体过程为:
4.根据权利要求3所述的一种阀门动态颗粒度测试方法,其特征在于:
>5.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种阀门动态颗粒度测试方法,包括:进气调压阀(1)、压力表(2)、高压控制器(9)、粒子计数器(10)、主通道以及测试通道,所述主通道与测试通道并联后共同连接于粒子计数器(10),其特征在于:
2.根据权利要求1所述的一种阀门动态颗粒度测试方法,其特征在于:将主通道与测试通道中的流体流量调整至对应预设流量的具体过程为:
3.根据权利要求2所述的一种阀门动态颗粒度测试方法,其特征在于:短期波动和长期趋势均正常后,构建流量-时间曲线和压力-时间曲线,具体过程为:
4.根据权利要求3所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛辉,李云飞,
申请(专利权)人:上海聚克流体控制有限公司,
类型:发明
国别省市:
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