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本发明公开了一种阀门动态颗粒度测试方法，属于超高纯流体系统技术领域；该方法通过进气调压阀、压力表、高压控制器、粒子计数器、主通道和测试通道等组件，实现了对阀门在实际工况下的动态颗粒污染的精准监测；步骤一通过流量调节补偿机制，确保粒子计数器在...
该专利属于上海聚克流体控制有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海聚克流体控制有限公司授权不得商用。

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