【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶体制备，特别是涉及一种放肩控制方法、装置、计算机设备和存储介质。
技术介绍
1、放肩成活率可以被定义为在一个周期内，所有进入放肩阶段的晶体中，放肩成功并进入等径阶段的晶体个数占比。在现有的晶体制备领域中，放肩阶段的拉速控制通常采用手动放肩和pid控制放肩的手段实现。然而，人工手动放肩耗时耗力，且工艺标准随操作人员的不同存在差异，在长期运行过程中因操作上的差异放大而出现断线，而pid拉速放肩则由于放肩过程中的拉速与控制目标之间存在时滞性，容易造成控制超调或是欠调，从而导致放肩过程断线。
2、因此，目前的放肩控制技术仍然存在放肩成活率较低的问题。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够提高放肩成活率的放肩控制方法、装置、计算机设备和存储介质。
2、第一个方面，本申请提供了一种放肩控制方法，所述放肩控制方法包括：
3、基于预设时间范围内的时序监测数据，得到预测直径值；
4、将目标放肩角度和所述预测直径值输入至长短...
【技术保护点】
1.一种放肩控制方法，其特征在于，所述放肩控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的放肩控制方法，其特征在于，所述基于预设时间范围内的时序监测数据，得到预测直径值包括：
3.根据权利要求2所述的放肩控制方法，其特征在于，所述基于预设时间范围内的所述时序监测数据和预先训练的直径预测模型，得到预测直径值之前包括：
4.根据权利要求1所述的放肩控制方法，其特征在于，所述将目标放肩角度和所述预测直径值输入至长短期记忆机制模型，得到目标拉速值之前还包括：
5.根据权利要求4所述的放肩控制方法，其特征在于，所述基于所述工艺条件参数进行...
【技术特征摘要】
1.一种放肩控制方法，其特征在于，所述放肩控制方法包括：
2.根据权利要求1所述的放肩控制方法，其特征在于，所述基于预设时间范围内的时序监测数据，得到预测直径值包括：
3.根据权利要求2所述的放肩控制方法，其特征在于，所述基于预设时间范围内的所述时序监测数据和预先训练的直径预测模型，得到预测直径值之前包括：
4.根据权利要求1所述的放肩控制方法，其特征在于，所述将目标放肩角度和所述预测直径值输入至长短期记忆机制模型，得到目标拉速值之前还包括：
5.根据权利要求4所述的放肩控制方法，其特征在于，所述基于所述工艺条件参数进行热应力模拟，得到第一放肩角度包括：
6.根据权利要求1所述的放肩控制方法，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，刘华，熊世剑，
申请(专利权)人：浙江求是半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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