【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体尾气处理装置固定，尤其是一种半导体尾气处理装置用卡箍。
技术介绍
1、在半导体尾气处理设备中，混气室、反应室等各种腔室和管道都需要固定。现有的固定方式是法兰连接，固定时步骤繁琐、耗费的时间较长，不利于半导体尾气处理设备的拆装和检修。
技术实现思路
1、本技术旨在解决上述问题，提供了一种半导体尾气处理装置用卡箍，解决了腔室和管道固定步骤繁琐、耗费的时间较长的问题。
2、一种半导体尾气处理装置用卡箍，包括：半圆弧、第三固定块、第四固定块、驱动板和固定板，两个半圆弧端部通过转动机构转动连接，两个半圆弧远离转动机构的一端分别与第三固定块和第四固定块固定连接，所述驱动板与第三固定块转动连接，所述固定板与驱动板转动连接，所述固定板在两个半圆弧固定时套装在第四固定块外侧并与第四固定块接触。
3、在上述技术方案基础上，所述转动机构包括第一固定块、第二固定块、第一轴、调节螺柱和螺帽，所述第一固定块和第二固定块分别与不同的半圆弧的端部固定连接，所述调节螺柱端部与第一轴侧...
【技术保护点】
1.一种半导体尾气处理装置用卡箍，其特征在于，包括：半圆弧(1)、第三固定块(4)、第四固定块(5)、驱动板(6)和固定板(7)，两个半圆弧(1)端部通过转动机构转动连接，两个半圆弧(1)远离转动机构的一端分别与第三固定块(4)和第四固定块(5)固定连接，所述驱动板(6)与第三固定块(4)转动连接，所述固定板(7)与驱动板(6)转动连接，所述固定板(7)在两个半圆弧(1)固定时套装在第四固定块(5)外侧并与第四固定块(5)接触。
2.根据权利要求1所述的一种半导体尾气处理装置用卡箍，其特征在于：所述转动机构包括第一固定块(2)、第二固定块(3)、第一轴(3...
【技术特征摘要】
1.一种半导体尾气处理装置用卡箍，其特征在于，包括：半圆弧(1)、第三固定块(4)、第四固定块(5)、驱动板(6)和固定板(7)，两个半圆弧(1)端部通过转动机构转动连接，两个半圆弧(1)远离转动机构的一端分别与第三固定块(4)和第四固定块(5)固定连接，所述驱动板(6)与第三固定块(4)转动连接，所述固定板(7)与驱动板(6)转动连接，所述固定板(7)在两个半圆弧(1)固定时套装在第四固定块(5)外侧并与第四固定块(5)接触。
2.根据权利要求1所述的一种半导体尾气处理装置用卡箍，其特征在于：所述转动机构包括第一固定块(2)、第二固定块(3)、第一轴(31)、调节螺柱(32)和螺帽(33)，所述第一固定块(2)和第二固定块(3)分别与不同的半圆弧(1)的端部固定连接，所述调节螺柱(32)端部与第一轴(31)侧面固定连接，所述第一轴(31)与第二固定块(3)转动连接，所述螺帽(33)与调节螺柱(32)螺纹连接，所述第一固定块(2)形成有通孔(20)，所述通孔(20)用于止挡螺帽(33)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体尾气处理装置用卡箍，其特征在于：所述第一固定块(2)包括第一容纳槽体(21)和第一外凸板(22)，所述第一外凸板(22)位于第一容纳槽体(21)外侧并与第一容纳槽体(21)一体成型，两个半圆弧(1)端部分别位于第一容纳槽体(21)内部，其中一个半圆弧(1)与第一容纳槽体(21)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体尾气处理装置用卡箍，其特征在于：所述通孔(20)位于第一外凸板(22)...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉宽，程勇，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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