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本技术涉及一种半导体尾气处理装置用卡箍，包括：半圆弧、第三固定块、第四固定块、驱动板和固定板，两个半圆弧端部通过转动机构转动连接，两个半圆弧远离转动机构的一端分别与第三固定块和第四固定块固定连接，所述驱动板与第三固定块转动连接，所述固定板与...
该专利属于上海高笙集成电路设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海高笙集成电路设备有限公司授权不得商用。

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