一种MEMS角速度传感器制造技术

本申请公开了一种MEMS角速度传感器，包括结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块；结构相同的第一检测质量块、第二检测质量块，第一检测质量块位于第一驱动质量块内并与之耦接，第二检测质量块位于第二驱动质量块内并与之耦接；扭摆质量块，与第一检测质量块和第二检测质量块耦接；第一检测质量块、第二检测质量块及扭摆质量块组成检测结构，用于检测第一轴线方向的角速度，第一轴线与第一检测质量块、第二检测质量块所在的平面垂直。本申请提出的MEMS角速度传感器的结构，可以有效提升MEMS角速度传感器的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体，特别涉及一种mems角速度传感器。

技术介绍

1、mems角速度传感器在消费电子、汽车电子、工业电子等领域得到广泛应用。其中在汽车电子及工业电子等领域中，对mems角速度传感器的稳定性要求较高，通常需要较低的q值（品质因数）来实现较高的稳定性。

技术实现思路

1、鉴于上述问题，本申请的目的在于提供一种稳定性较高的mems角速度传感器。

2、根据本专利技术的一方面，提供一种mems角速度传感器，包括：

3、结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块；

4、结构相同的第一检测质量块、第二检测质量块，所述第一检测质量块位于所述第一驱动质量块内并与之耦接，所述第二检测质量块位于所述第二驱动质量块内并与之耦接；

5、扭摆质量块，与所述第一检测质量块和所述第二检测质量块耦接；

6、所述第一检测质量块、所述第二检测质量块以及所述扭摆质量块组成检测结构，用于检测第一轴线方向的角速度，所述第一轴线与所述第一检测质量块、所述第二检测质量块所在的平面垂直。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS角速度传感器，其中，包括：

2.根据权利要求1所述的MEMS角速度传感器，其中，所述扭摆质量块内设有不同数量的阻尼梳齿。

3.根据权利要求1所述的MEMS角速度传感器，其中，所述第一检测质量块、所述第二检测质量块、以及所述扭摆质量块整体关于第二轴线对称，所述第二轴线与所述第一轴线垂直。

4.根据权利要求1所述的MEMS角速度传感器，其中，所述扭摆质量块的对称中心线与第二轴线重合。

5.根据权利要求2所述的MEMS角速度传感器，其中，所述扭摆质量块中的阻尼梳齿整体关于第二轴线对称。

6.根据权利要求1所述的MEMS...

【技术特征摘要】

1.一种mems角速度传感器，其中，包括：

2.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，所述扭摆质量块内设有不同数量的阻尼梳齿。

3.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，所述第一检测质量块、所述第二检测质量块、以及所述扭摆质量块整体关于第二轴线对称，所述第二轴线与所述第一轴线垂直。

4.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，所述扭摆质量块的对称中心线与第二轴线重合。

5.根据权利要求2所述的mems角速度传感器，其中，所述扭摆质量块中的阻尼梳齿整体关于第二轴线对称。

6.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，所述第一驱动质量块和第二驱动质量块整体关于第二轴线对称。

7.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，所述第一检测质量块和所述第二检测质量块整体关于第二轴线对称。

8.根据权利要求5所述的mems角速度传感器，其中，所述扭摆质量块包括：

9.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，所述检测结构还包括：

10.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，所述检测结构还包括：

11.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，所述第一检测质量块、第二检测质量块中的每个检测质量块包括：

12.根据权利要求1所述的mems角速度传感器，其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛胜方，王广猛，王敏昌，汪建平，胡铁刚，
申请(专利权)人：杭州士兰微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：