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本申请公开了一种MEMS角速度传感器，包括结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块；结构相同的第一检测质量块、第二检测质量块，第一检测质量块位于第一驱动质量块内并与之耦接，第二检测质量块位于第二驱动质量块内并与之耦接；扭摆质量块，与第一检测...
该专利属于杭州士兰微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州士兰微电子股份有限公司授权不得商用。

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