一种带插杆的石英花篮制造技术

本技术涉及一种带插杆的石英花篮，包括花篮本体和插杆，花篮本体包括底座、两根第一立柱、两根第二立柱、顶部连接件和提手，底座具有第一插孔；底座连接第一立柱和第二立柱的一端；第一立柱和第二立柱的另一端连接顶部连接件，顶部连接件包括第二插孔；顶部连接件上连接提手；第一立柱具有若干第一放置槽，第二立柱具有若干第二放置槽，第一放置槽与第二放置槽成组设置，第一放置槽与第二放置槽的中心连线与底座平面的角度为4‑6°。通过石英花篮的第一放置槽和第二放置槽水平放置晶圆片，从而改善腐蚀晶圆片，片内不均的问题。通过插杆与第一插孔和第二插孔的设置阻挡在晶圆片边缘进一步保证了晶圆片不会滑落。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英花篮，特别是一种带插杆的石英花篮。

技术介绍

1、湿法刻蚀工艺时装装载着晶圆片一同在溶液内进行工艺的石英装置，通常情况下叫做“石英花篮”，目前晶圆片在花篮的摆放是垂直于液面的。

2、进行王水湿法腐蚀工艺时，由于王水加热时是通过对装有王水溶液的石英缸的底部外壁用电加热器加热，这样会导致石英缸内的不同液面的温度及状态会有所差异。王水又极易挥发，会使不同液面深度的浓度会有微量差异。这样用垂直放置晶圆片的花篮垂直放置晶圆片后浸泡在腐蚀液中，因浓度及温度的差异，垂直放置晶圆片工艺后，用显微镜观察发现液面高度不同腐蚀的效果有微量差异。

技术实现思路

1、本申请提供一种带插杆的石英花篮，通过石英花篮的第一放置槽和第二放置槽水平放置晶圆片，从而改善腐蚀晶圆片，片内不均的问题。通过插杆与第一插孔和第二插孔的设置阻挡在晶圆片边缘进一步保证了晶圆片不会滑落。

2、本申请提供如下技术方案，一种带插杆的石英花篮，包括花篮本体和插杆，所述花篮本体包括底座、两根第一立柱、两根第二立柱、顶部连接件和提手本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带插杆的石英花篮，其特征在于，包括花篮本体和插杆，所述花篮本体包括底座、两根第一立柱、两根第二立柱、顶部连接件和提手，所述底座具有第一插孔；底座连接第一立柱和第二立柱的一端；第一立柱和第二立柱的另一端连接顶部连接件，所述顶部连接件包括第二插孔；所述顶部连接件上连接提手；第一立柱具有若干第一放置槽，第二立柱具有若干第二放置槽，第一放置槽与第二放置槽成组设置，第一放置槽与第二放置槽的中心连线与底座平面的角度为4-6°，所述插杆插入安装第一插孔和第二插孔内，插杆的横截面形状与第一插孔和第二插孔的横截面形状相同。

2.根据权利要求1所述的石英花篮，其特征在于，第一插孔和第二插...

【技术特征摘要】

1.一种带插杆的石英花篮，其特征在于，包括花篮本体和插杆，所述花篮本体包括底座、两根第一立柱、两根第二立柱、顶部连接件和提手，所述底座具有第一插孔；底座连接第一立柱和第二立柱的一端；第一立柱和第二立柱的另一端连接顶部连接件，所述顶部连接件包括第二插孔；所述顶部连接件上连接提手；第一立柱具有若干第一放置槽，第二立柱具有若干第二放置槽，第一放置槽与第二放置...

【专利技术属性】
技术研发人员：张占龙，耿已昌，杨爽，
申请(专利权)人：杭州致善微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：