【技术实现步骤摘要】
本技术涉及金属湿法腐蚀，具体为一种多层金属湿法腐蚀的硅片旋转提拉机构。
技术介绍
1、金属的湿法腐蚀是利用金属的活泼性，即金属单质在水溶液中失去电子生成金属阳离子的倾向，mems中常用金属活泼性如下：钾、钠、镁、铝、钛、锌、铬、镍、铜、银、铂、金，这可以理解为在同一氧化剂的作用下，越活泼的金属越容易发生化学反应，例如，将铬与金浸置于盐酸的溶液中时，铬可以与盐酸反应而金则不反应。
2、腐蚀清洗机是用于对金属进行腐蚀或清洗的设备，其上设置有清洗槽和试剂槽，使用腐蚀清洗机对金属进行腐蚀或清洗时，需要将硅片放置在片筐里后，将片框放置到清洗槽或试剂槽内，通过人工手动晃动和提拉片筐进行操作，现有部分多层金属湿法腐蚀的腐蚀清洗机不具有旋转提拉机构，通过人工操作时产品的一致性难以得到保障，导致产品质量不稳定，且操作时操作员需要近距离接触化学试剂，容易对操作员的身体造成伤害，因此，针对上述问题提出一种多层金属湿法腐蚀的硅片旋转提拉机构。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种多层金属湿法腐蚀...
【技术保护点】
1.一种多层金属湿法腐蚀的硅片旋转提拉机构，包括工作台(1)和支撑腿(2)，其特征在于：所述工作台(1)底部固定连接支撑腿(2)，所述工作台(1)通过矩型槽固定连接试剂槽(3)和清洗槽(4)，所述工作台(1)顶部后侧固定连接支撑板(5)，所述支撑板(5)顶部固定连接滑轨(6)，所述滑轨(6)左右两侧均固定连接防脱板(7)，所述防脱板(7)顶部均固定连接防尘板(8)，所述滑轨(6)内侧固定连接卡齿板(9)，所述滑轨(6)外侧滑动连接滑动套板(10)，所述滑动套板(10)顶部固定连接第一电机(11)，所述滑动套板(10)内侧固定连接限位板(12)，所述限位板(12)转动连...
【技术特征摘要】
1.一种多层金属湿法腐蚀的硅片旋转提拉机构，包括工作台(1)和支撑腿(2)，其特征在于：所述工作台(1)底部固定连接支撑腿(2)，所述工作台(1)通过矩型槽固定连接试剂槽(3)和清洗槽(4)，所述工作台(1)顶部后侧固定连接支撑板(5)，所述支撑板(5)顶部固定连接滑轨(6)，所述滑轨(6)左右两侧均固定连接防脱板(7)，所述防脱板(7)顶部均固定连接防尘板(8)，所述滑轨(6)内侧固定连接卡齿板(9)，所述滑轨(6)外侧滑动连接滑动套板(10)，所述滑动套板(10)顶部固定连接第一电机(11)，所述滑动套板(10)内侧固定连接限位板(12)，所述限位板(12)转动连接第一转动轴(13)，所述第一转动轴(13)外侧固定连接卡齿轮(14)，所述第一转动轴(13)前端和传动带(15)啮合，所述第一电机(11)主轴和传动带(15)啮合，所述第一电机(11)壳体前侧固定连接保护壳(16)，所述滑动套板(10)前侧面固定连接连接板(17)，所述连接板(17)前侧面固定连接第一电动伸缩杆(18)，所述第一电动伸缩杆(18)前端固定连接调节块(19)，所述调节块(19)顶部固定连接连接块(20)，所述连接块(20)顶端均固定连接第二电机(21)，所述第二电机(21)主轴固定连接第二转动轴(22)，所述第二转动轴(22)底端固定连接第二电动伸缩杆(23)，所述第二电动伸缩杆(23)底端固定连接焊接框(24)，所述焊接框(24)前后两侧均焊接加固板(25)，所述焊接框(24)和加固板(25)内侧均焊接片框(26)。
2...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄赛琴，黄福仁，潘少辉，郑志霞，
申请(专利权)人：福建安特微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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