温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及金属湿法腐蚀技术领域，尤其为一种多层金属湿法腐蚀的硅片旋转提拉机构，包括工作台和支撑腿，工作台底部固定连接支撑腿，工作台通过矩型槽固定连接试剂槽和清洗槽，工作台顶部后侧固定连接支撑板，支撑板顶部固定连接滑轨，滑轨左右两侧均固定连接...
该专利属于福建安特微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建安特微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。