【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜技术设备领域，具体而言，涉及一种阀芯组件、插板阀和镀膜设备。
技术介绍
1、镀膜设备中的插板阀通常用于控制真空镀膜过程中的气体流动，从而控制真空室内的气体压力。但现有的插板阀结构复杂，阀板的翻转运动需要较大的活动空间，而且存在动作缓慢或不顺畅的情况，进而导致其响应不够灵敏，另外，阀板的开启和关闭动作可能需要较长的时间，影响整体的操作效率；并且在频繁操作的情况下，其复杂的动作会导致阀板或相关部件的磨损加剧，进而导致插板阀的密封性会随使用时间的增加而快速降低，进而导致室内的气体压力不易控制，进而影响镀膜质量。
技术实现思路
1、本专利技术的目的包括，例如，提供了一种阀芯组件、插板阀和镀膜设备，其结构简单，操作方便，不需要较大的活动空间，能够提高阀板组的运行流畅度，并提高其操作的灵敏度和动作效率，还能够减小阀板组在运行过程中与阀体之间的摩擦，进而能够减小其运行磨损，降低运行噪音，并提高其密封性；由此，该阀芯组件组成插板阀并应用于镀膜设备中时，能够有利于控制镀膜设备中的室内压力，...
【技术保护点】
1.一种阀芯组件，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的阀芯组件，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的阀芯组件，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的阀芯组件，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的阀芯组件，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的阀芯组件，其特征在于：
7.根据权利要求5所述的阀芯组件，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的阀芯组件，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的阀芯组件，其特征在于：
10.根据权利要求8所述的阀芯组件，其特征在于：<...
【技术特征摘要】
1.一种阀芯组件，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的阀芯组件，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的阀芯组件，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的阀芯组件，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的阀芯组件，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的阀芯组件，其特征在于：
7.根据权利要求5所述的阀芯组件，其特征在于：
8.根据权利要求7所述的阀芯组件，其特征在于：
9.根据权利要求8所述的阀芯组件...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡磊，左敏，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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