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本发明涉及镀膜技术设备领域，具体而言，涉及一种阀芯组件、插板阀和镀膜设备。阀芯组件包括阀板组、连接组件以及导向件；阀板组与连接组件传动连接，并与导向件可活动地配合；导向件用于在连接组件带动阀板组运动时，引导阀板组沿第一方向或第二方向运动；其...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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