【技术实现步骤摘要】
本技术涉及吊装设备，尤其涉及一种掩膜版输送吊具。
技术介绍
1、掩膜版(mask)应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，掩膜版是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版，是承载图形设计和工艺技术等知识产权信息的载体，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构，再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。
2、目前，更换曝光机所使用的掩膜版时，需要使用地面智能叉车进行掩膜版的输送，如图1所示，在掩膜版仓库1’和曝光机2’之间设有专用输送通道3’，地面智能叉车从掩膜版仓库1’进行掩膜版的装载，沿专用输送通道3’移动后将掩膜版输送至对应的曝光机。现有技术存在以下缺陷：需要在地面上设置专用输送通道3’确保地面智能叉车能够到达每台曝光机2’，占用大量地面的有效使用面积，同时，地面智能叉车的移动速度很慢，在进行掩膜版的输送时也容易与专用输送通道3’上的其他物体发生干涉，导致掩膜版的输送效率较低。
技术实现思路
1、本技术的目的在于：提供一种掩膜版输送吊具，其通过吊装的方式...
【技术保护点】
1.掩膜版输送吊具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的掩膜版输送吊具，其特征在于，所述搬运部包括至少两个间隔设置的叉臂，每个所述叉臂上设有一个所述锁紧组件。
3.根据权利要求2所述的掩膜版输送吊具，其特征在于，所述锁紧组件包括两个夹紧块和第一驱动组件，所述第一驱动组件与两个所述夹紧块相连，用于驱动两个所述夹紧块相互靠近或远离，以夹紧或松开所述载具。
4.根据权利要求3所述的掩膜版输送吊具，其特征在于，所述叉臂上设有安装槽，所述安装槽沿所述叉臂的长度方向延伸，所述第一驱动组件包括：
5.根据权利要求3所述的掩膜版...
【技术特征摘要】
1.掩膜版输送吊具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的掩膜版输送吊具，其特征在于，所述搬运部包括至少两个间隔设置的叉臂，每个所述叉臂上设有一个所述锁紧组件。
3.根据权利要求2所述的掩膜版输送吊具，其特征在于，所述锁紧组件包括两个夹紧块和第一驱动组件，所述第一驱动组件与两个所述夹紧块相连，用于驱动两个所述夹紧块相互靠近或远离，以夹紧或松开所述载具。
4.根据权利要求3所述的掩膜版输送吊具，其特征在于，所述叉臂上设有安装槽，所述安装槽沿所述叉臂的长度方向延伸，所述第一驱动组件包括：
5.根据权利要求3所述的掩膜版输送吊具，其特征在于，所述叉臂上设有安装槽，所述安装槽沿所述叉臂的长度方向延伸，所述第一驱动组件包括：
6.根据权利要求4或5所述的掩膜版输送吊具，其特征在于，所述叉臂上设有物料检测传感器，所述夹紧块的夹紧面上设有压力传感器，所述掩膜版输送吊具还包括控制系统，所述控制系统与所述物料检测传感器、所述压力传感器和所述第一转动驱动件均信号连接，所述控制系统用...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄远科，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：
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