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本技术公开一种掩膜版输送吊具，包括吊轨、输送机构、升降机构和掩膜版吊架，吊轨设置在曝光机的上方，吊轨沿掩膜版仓库和曝光机的输送路线延伸；输送机构设置在吊轨上；升降机构与输送机构相连，输送机构用于沿输送路线输送升降机构；掩膜版吊架与升降机构的...
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