一种大量程及高精度轮廓测量位移传感器制造技术

一种大量程及高精度轮廓测量位移传感器，它涉及一种位移传感器。针对电感式测量位移传感器测量范围小、精度低、线性误差大、温度漂移大、仪器的残余轮廓大问题。测针和防转杆均固装在测杆上，测量杠杆一端与测杆固接，另一端设置在主体内，回转轴紧固在测量杠杆上，回转轴的滚道孔中放置有多个钢球，顶尖顶在钢球上，测力机构的两端与测量杠杆和主体连接，测量杠杆上固装有零位支架，光栅尺固装在测量杠杆的圆弧面上，零位块固装在零位支架上且与光栅头的零位相对应，光栅头通过连接板紧固在主体上且与光栅尺相对应设置，主体上装有限位机构和连接机构。本实用新型专利技术用于测量工件的轮廓尺寸、表面形状误差及表面粗糙度，分辨率可以达到５．０ｎｍ。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种位移传感器。
技术介绍
随着我国制造业的飞速发展，研制大量程、高精度及低成本的测量位移传感器变 得至关重要。现阶段国内使用的电感式测量位移传感器存在测量范围小、精度低、线性误 差大，环境温度变化对测量精度影响较大，电路随温度变化漂移较大，仪器的残余轮廓较大 等缺陷，实现不了对工件轮廓的高精度测量。目前国内生产的表面轮廓测量仪只能进行低 端的轮廓测量，而高精度的轮廓测量仪全部依靠进口，每年国家要花费大量外汇从英国、德 国、日本等国家购买高精度轮廓测量仪，来满足各行业高精度轮廓测量的检测需求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种大量程及高精度轮廓测量位移传感器，以解决现有 电感式测量位移传感器存在测量范围小、精度低、线性误差大、温度漂移大、仪器的残余轮 廓大，实现不了对工件轮廓精确测量的问题。本技术为解决上述技术问题采用的技术方案是本技术的位移传感器由测杆组件、零位支架、零位块、光栅尺、光栅头、连接板、回转轴系、测力机构、限位结构、连接机构、罩和前挡板组成；所述回转轴系包括主体和测量杠杆，所述测杆组件由测针、测杆和防转杆组成；所述回转轴系还包括两个锁紧螺母、两个顶尖、多个钢球和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大量程及高精度轮廓测量位移传感器，所述位移传感器由测杆组件、零位支架（５）、零位块（６）、光栅尺（２）、光栅头（３）、连接板（４）、回转轴系、测力机构、限位结构、连接机构、罩（３１）和前挡板（２９）组成；所述回转轴系包括主体（１）和测量杠杆（７），所述测杆组件由测针（１２）、测杆（１３）和防转杆（１０）组成；其特征在于：所述回转轴系还包括两个锁紧螺母（１９）、两个顶尖（１６）、多个钢球（１７）和回转轴（１８）；所述测针（１２）和防转杆（１０）均固装在测杆（１３）上且靠近测杆（１３）的两端设置，所述测量杠杆（７）的一端设有轴向中心孔，测杆（１３）靠近防转杆（１０）的一端紧固在测量杠杆（７）的...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：于淼，于德海，吴东明，
申请(专利权)人：于淼，于德海，吴东明，
类型：实用新型
国别省市：93[中国|哈尔滨]