一种成像补偿方法、成像补偿装置以及存储介质制造方法及图纸

一种成像补偿方法、成像补偿装置以及存储介质，方法包括沿第一预设方向，获取待测件的至少一幅检测图像，第一预设方向平行于扫描工作台的扫描坐标系中的第一坐标轴；待测件的表面对应具有第一坐标系，待测件的表面具有多个沿第一坐标系的第三坐标轴阵列分布的多个预设特征；根据检测图像中被成像的预设特征计算第三坐标轴与第一坐标轴的第一夹角，得到第一坐标系相对于扫描坐标系的偏差角度；根据偏差角度，根据偏差角度，在沿第一预设方向对待测件进行扫描的时候，对待测件在像面上的预设扫描位置进行补偿处理。本申请能对预设扫描位置进行补偿，降低偏差角度带来的错位问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图像检测，具体涉及一种成像补偿方法、成像补偿装置以及存储介质。

技术介绍

1、在小尺寸高精度的图像检测领域中，待测件(如晶圆、芯片、掩膜版、玻璃屏幕等)的表面检测需要采集多个图像后进行拼接，从而得到待测件表面完成的图像。一般情况下，图像采集系统的成像区域的成像坐标系与扫描工作台的扫描坐标系可以高精度对准。

2、目前，待测件放置在扫描工作台后，由于待测件放置位置的校准精度有限，导致待测件的表面的第一坐标系与扫描工作台的扫描坐标系之间存在偏差角度，导致后续扫描工作台驱动图像采集系统与待测件相对运动的时候，图像采集系统的实际扫描位置与预设扫描位置存在错位，多个图像之间存在错位，导致后期图像拼接难度大。

技术实现思路

1、本专利技术主要解决的技术问题是待测件的表面的第一坐标系与扫描工作台的扫描坐标系之间存在偏差角度，影响后续图像拼接的难度。

2、根据第一方面，一种实施例中提供一种成像补偿方法，包括：

3、沿第一预设方向，获取待测件的至少一幅检测图像，第一预设方向平行于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种成像补偿方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测图像为一个或多个，根据所述检测图像中被成像的所述预设特征计算所述第三坐标轴与所述第一坐标轴的第一夹角，包括：

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测图像为至少两个，根据所述检测图像中被成像的所述预设特征计算所述第三坐标轴与所述第一坐标轴的第一夹角，包括：

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述检测图像为两个，根据所述参考点以及对应第二基准线的距离，计算所述第三坐标轴与所述第一坐标轴的第一夹角，包括：

5.如权利要求3或4所述的方法，其特...

【技术特征摘要】

1.一种成像补偿方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测图像为一个或多个，根据所述检测图像中被成像的所述预设特征计算所述第三坐标轴与所述第一坐标轴的第一夹角，包括：

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测图像为至少两个，根据所述检测图像中被成像的所述预设特征计算所述第三坐标轴与所述第一坐标轴的第一夹角，包括：

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述检测图像为两个，根据所述参考点以及对应第二基准线的距离，计算所述第三坐标轴与所述第一坐标轴的第一夹角，包括：

5.如权利要求3或4所述的方法，其特征在于，采用预设规则在每个所述检测图像中选定至少一个参考点，包括：

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述待测件在像面上的预设扫描位置进行补偿处理，包括：调整图像采集系统在所述待测件的像面上的实际扫描位置，以使得每个所述实际扫描位置的中心在同一直线上，该直线与所述第三坐标轴平行。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，对所述待测件在像面上的预设扫描位置进行补偿处理，包括：对所述待测件在像面上的预设扫描位置进行位移补偿处理，或者对所述待测件在像面上的预设扫描位置进行角度补偿处理以及位移补偿处理；

8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，根据每个位移偏差值对每个实际扫描位置进行位移补偿，包括：

9.一种成像补偿装置，其特征在于，包括：图像采集系统、补偿运动系统、扫描工作台以及处理模块；

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述处理模块包括图像采集模块、角度计算模块以及补偿处理模块；

11.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述图像采集系统包括图像探测器，所述补偿运动系统通过驱动所述图像探测器运动，以驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，杨乐，王先炉，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：