【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种气浮式大负载低刚度隔振结构及设计方法，本专利技术属于精密仪器振动隔离控制。
技术介绍
1、随着精密加工、精密测量以及航空航天技术的发展，对机械结构的动态稳定性和抗振性、超微细测试加工精度及科学实验环境提出了更加严格的要求，尤其是一些超精密加工装备和微电子装备对防微振的要求越来越高。对微小振动的控制和隔离，已经成为很多尖端科技应用的瓶颈。
2、微电子技术向大规模和超大规模集成电路方向不断发展，其电路集成度不断提高[1]。先进半导体制程中的晶圆尺寸从150mm增加到300mm，而刻线特征尺寸则由130nm降低到45nm，其工件台位置测量环节的相对测量不确定度从10-7提高到10-8量级。这些精度要求的实现无一例外都依赖于隔微振技术及装置。而在航空航天工业中，相关设备和装备的加工，装配和试验等环节对于尺寸和精度的要求越来越严格。相关的精度要求已从之前的微米量级向百纳米量级迈进，这意味着其测量环节的不确定度要求也被大幅提高了，有时甚至要求纳米和亚纳米级精度。以大型天文望远镜抛物面反射镜加工为例，其最大加工尺寸要求长...
【技术保护点】
1.一种气浮式大负载低刚度隔振结构，其特征在于：包括隔振器上板(1)、隔振器下板(2)、隔振器内腔，所述隔振器内腔位于隔振器上板(1)和隔振器下板(2)之间，且隔振器内腔的上端通过转动件与隔振器上板(1)的下表面中部连接。
2.根据权利要求1所述的一种气浮式大负载低刚度隔振结构，其特征在于：所述隔振器内腔包括隔振器内缸(3)和隔振器外缸(4)，隔振器内缸(3)和隔振器外缸(4)由内至外设置，所述隔振器内缸(3)的上端通过转动件与隔振器上板(1)连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种气浮式大负载低刚度隔振结构，其特征在于：所述转动件包括橡胶铰链...
【技术特征摘要】
1.一种气浮式大负载低刚度隔振结构，其特征在于：包括隔振器上板(1)、隔振器下板(2)、隔振器内腔，所述隔振器内腔位于隔振器上板(1)和隔振器下板(2)之间，且隔振器内腔的上端通过转动件与隔振器上板(1)的下表面中部连接。
2.根据权利要求1所述的一种气浮式大负载低刚度隔振结构，其特征在于：所述隔振器内腔包括隔振器内缸(3)和隔振器外缸(4)，隔振器内缸(3)和隔振器外缸(4)由内至外设置，所述隔振器内缸(3)的上端通过转动件与隔振器上板(1)连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种气浮式大负载低刚度隔振结构，其特征在于：所述转动件包括橡胶铰链(5)、上顶针(6)和下顶针(7)，橡胶铰链(5)的上端通过上顶针(6)与隔振器上板(1)的下表面连接，橡胶铰链(5)的下端通过下顶针(7)与隔振器内缸(3)的上端连接。
<...【专利技术属性】
技术研发人员：于程隆，李斌，李天一，赵勃，谭久彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：
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