一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法技术

本发明专利技术属于晶片极化处理技术领域，具体公开了一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法。本发明专利技术先对近化学计量比钽酸锂晶片进行整体极化处理；然后在近化学计量比钽酸锂晶片一侧表面设置周期光刻胶；再将表面设置周期光刻胶的近化学计量比钽酸锂晶片置于锂盐溶液中，进行与上述反向的极化处理，完成近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化。本发明专利技术通过液体电极极化法制备周期极化近化学计量比钽酸锂晶片，极大地降低晶片被击穿概率，提高了晶片制备的成功率；同时由于采用液体电极，跳过了金属薄膜电极的制备过程，操作简单，适宜推广应用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶片极化处理，尤其涉及一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法。

技术介绍

1、外加电场极化法是目前对钽酸锂进行畴反转最常用、最简单、最成熟的方法之一，已实现产业化。极化过程可在室温下进行，并且极化反转深度可以贯穿整个晶圆厚度，周期结构可达微米量级，具有较好的可重复性，能够反复进行反转，畴反转制作成本低。但该方法的操作灵活性不好，极化所需的外部电场高，制备的畴结构会出现横向生长从而影响周期畴结构及占空比，难以制造亚微米尺寸以下的畴结构。外加电场极化反转的机理是根据样品的矫顽场，然后施加与样品自发极化方向相反的外加电场，使样品内部受到表面电极的周期性调控来制备周期性畴结构。在畴反转过程中，li/ta5+将克服能垒沿着极轴穿越氧平面，在缺陷或表面电极处率发生新畴成核，反转电畴开始出现。持续的外加电场作用致使反转电畴持续增大，而与外加电场反向的电畴将缩小，直至新稳态形成。

2、传统外加电场极化法是金属薄膜电极极化法，在使用金属薄膜电极极化法制备周期极化晶体时，通过光刻法制备的电极边缘由于工艺缺陷很容易形成毛刺，毛刺的存在会产生电荷的趋肤本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法，其特征在于，所述近化学计量比钽酸锂晶片的厚度为0.3～1mm。

3.根据权利要求2所述的一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法，其特征在于，步骤1)中所述整体极化处理和步骤3)中所述极化处理独立的采用直流稳压电源，步骤1)中所述整体极化处理和步骤3)中所述极化处理的极化电压独立的为150～400V，极化时间独立的为5～20min，极化电压的升压速率独立的为40～100V/min。

4.根据权利要求3所述的一种近化...

【技术特征摘要】

1.一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法，其特征在于，所述近化学计量比钽酸锂晶片的厚度为0.3～1mm。

3.根据权利要求2所述的一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法，其特征在于，步骤1)中所述整体极化处理和步骤3)中所述极化处理独立的采用直流稳压电源，步骤1)中所述整体极化处理和步骤3)中所述极化处理的极化电压独立的为150～400v，极化时间独立的为5～20min，极化电压的升压速率独立的为40～100v/min。

4.根据权利要求3所述的一种近化学计量比钽酸锂晶片的周期极化方法，其特征在于，步骤3)中所述锂盐溶液的质量浓度为...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖学峰，司佳顺，黄燕，梁帅杰，张妍，许庆岩，张学锋，张欢，马玲玲，李维银，马超，
申请(专利权)人：北方民族大学，
类型：发明
国别省市：