一种碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置及方法，属于碳化硅物料生产技术领域，所述装置：铲凿刀具设置在铲凿主轴模块下部；夹具模块设置在XY运动工作台上部，坩埚设置在夹具模块内部；XY运动工作台设置在机台底座的中部，框式立柱设置在机台底座上方；铲凿主轴模块设置在框式立柱上，并随铲凿驱动模块带动铲凿刀具在坩埚上方上下移动，执行凿击动作；CNC逻辑控制模块通过控制工作台驱动模块驱动XY运动工作台的水平移动，以及通过铲凿驱动模块驱动铲凿主轴模块带动铲凿刀具的上下移动。本发明专利技术实现了在碳化硅物料生产前废弃物料结晶体从坩埚的自动化机械清除。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于碳化硅物料生产，具体涉及一种碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置及方法。

技术介绍

1、随着半导体行业的发展，第三代半导体碳化硅的生产应用已经出现，但碳化硅的生产、加工自动化、智能化普及以及推广还相当落后，大都处于原始的人工判断单机操作模式，又由于碳化硅的规模化生产的各个环境都需要周期性的重复，靠人工操作，不仅效率低，一致性差，还需要长时间与碳性粉尘物料接触，会对操作人员的健康带来安全威胁，因此迫切需求碳化硅物料的自动化生产。

2、碳化硅物料生产前需要把结晶在坩埚内部或内壁上的碳化硅晶体与坩埚脱离并且要保障坩埚不受损伤。由于坩埚材质为石墨，自身柔韧性较差，并且坩埚内的碳化硅物料结晶体较为坚硬，形状不规则，对击碎冲击工作要求较高，特别是自动智能判断击碎冲击工作非常困难。对废弃物料结晶体的铲凿不仅要达到击碎坚硬的碳化硅废弃物料结晶体，使之与坩埚脱离，还要保护柔性较差的坩埚不受损坏。目前仅有碳化硅晶体生长自动化相关研究，而对于碳化硅物料循环生产过程中每次生产前对废弃物料清除，进行坩埚再利用的自动化研究极为少见。

3、本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置，其特征在于，包括机台底座、框式立柱、XY运动工作台、夹具模块、坩埚、铲凿刀具、铲凿主轴模块、CNC逻辑控制模块、工作台驱动模块以及铲凿驱动模块；

2.如权利要求1所述的碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置，其特征在于，XY运动工作台包括X向运动机构和Y向运动机构；

3.如权利要求2所述的碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置，其特征在于，夹具模块包括夹紧单元和夹紧驱动单元；

4.如权利要求1所述的碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置，其特征在于，铲凿主轴模块包括前段主轴、后段主...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置，其特征在于，包括机台底座、框式立柱、xy运动工作台、夹具模块、坩埚、铲凿刀具、铲凿主轴模块、cnc逻辑控制模块、工作台驱动模块以及铲凿驱动模块；

2.如权利要求1所述的碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置，其特征在于，xy运动工作台包括x向运动机构和y向运动机构；

3.如权利要求2所述的碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置，其特征在于，夹具模块包括夹紧单元和夹紧驱动单元；

4.如权利要求1所述的碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置，其特征在于，铲凿主轴模块包括前段主轴、后段主轴和压力传感器；

5.如权利要求1所述的碳化硅晶体循环生产过...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋建，张健，李文强，庞茂鑫，陈一栋，赵树春，周敏，薛传艺，窦文涛，高立志，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：