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本发明提供一种碳化硅晶体循环生产过程中废弃物料自动铲凿装置及方法，属于碳化硅物料生产技术领域，所述装置：铲凿刀具设置在铲凿主轴模块下部；夹具模块设置在XY运动工作台上部，坩埚设置在夹具模块内部；XY运动工作台设置在机台底座的中部，框式立柱设...
该专利属于山东天岳先进科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东天岳先进科技股份有限公司授权不得商用。

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