一种隔离PECVD放电区的装置制造方法及图纸

本技术公开了一种隔离PECVD放电区的装置，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。通过在装置内部的连杆机构形成直线移动机构，将地电极、喷淋电极、工件和载板等组件连接起来，形成一个封闭的放电区。本技术的优点是：结构简单，所占空间小，实用型较强，而且能有效的实现放电区的密封。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光伏，具体涉及一种隔离pecvd放电区的装置。

技术介绍

1、等离子体增强化学气相沉积设备pecvd,是常用的制造光电单元中各层硅薄膜的方法，等离子体增强化学气相沉积设备pecvd作为新型平板显示、晶硅太阳能电池及半导体相关领域核心设备之一，其放电区是pecvd设备的最重要组成部分，放电区由喷淋电极、地电极以及喷淋电极与地电极之间的空间构成，工艺气体通过喷淋电极中的喷淋通道进入到放电区后被电离，形成等离子体后到达工件表面在工件表面发生化学反应、沉积均发生在此区域。目前行业上对于放电区有采用开放的放电区，也有采用封闭的放电区，开放的放电区设备相对较简单，但镀膜的均匀性受镀膜工件的尺寸影响，均匀性相对较差，封闭的放电区设备相对较复杂，不具有广泛的实用性。

技术实现思路

1、技术提出了一种隔离pecvd放电区的装置，解决上述现有技术存在的技术问题。

2、根据本技术的一个方面，提供了一种隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。

2.根据权利要求1所述的隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，在所述固定部与所述移动部之间还设置弹簧机构。

3.根据权利要求1所述的隔离PECVD放电区的装置，其特征在于，所述旋转杆设置于所述移动连...

【技术特征摘要】

1.一种隔离pecvd放电区的装置，其特征在于，包括：固定部和移动部，在所述固定部与所述移动部之间设置放电区域，所述移动部通过移动连杆与旋转杆的配合转动进行上下运动，控制所述放电区域的打开与封闭，其中，所述固定部的中部与移动部的中部连接所述移动连杆，所述移动连杆的连接位置设置转轴，所述固定部的一端与所述移动部相对的另一端连接所述旋转杆，所述旋转杆的连接位置设置转轴。

2.根据权利要求1所述的隔离...

【专利技术属性】
技术研发人员：张迎春，赵永飞，白仁华，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：